Um evaporador térmico é um dispositivo utilizado em processos de deposição em vácuo para depositar películas finas de materiais em substratos. Funciona através do aquecimento de um material até ao seu ponto de vaporização num ambiente de alto vácuo, permitindo que o vapor se condense num substrato, formando uma película fina.
Processo de aquecimento e vaporização:
Os evaporadores térmicos utilizam um aquecedor de resistência eléctrica para derreter o material e aumentar a sua pressão de vapor para um intervalo útil. O processo de aquecimento é conduzido em alto vácuo, o que tem dois objectivos principais: permite que o vapor se desloque para o substrato sem interagir com outros átomos da fase gasosa e reduz a incorporação de impurezas do gás residual na câmara de vácuo. Este método é adequado para materiais com uma pressão de vapor elevada em comparação com o elemento de aquecimento para evitar a contaminação da película.Tipos de Evaporação Térmica:
- Existem dois tipos principais de evaporação térmica:
- Aquecimento por resistência eléctrica: Este método envolve o aquecimento direto do material através de fios ou em cadinhos condutores. É adequado para materiais que podem ser aquecidos a altas temperaturas sem danificar o recipiente.
Evaporação por feixe de electrões: Este método mais sofisticado utiliza um feixe de electrões de alta energia para aquecer um pequeno ponto do material, permitindo a evaporação de materiais com pressões de vapor mais baixas. O feixe de electrões é normalmente dobrado num grande ângulo para proteger o filamento da pistola do fluxo de evaporação.
Deposição e formação de película:
Quando o material vaporizado atinge o substrato, condensa-se e forma uma película fina. A espessura da película pode ser controlada através do ajuste de parâmetros como a temperatura do evaporante, a taxa de deposição e a distância entre o evaporante e o substrato.Aplicações e benefícios:
A evaporação térmica é amplamente utilizada na produção de dispositivos electrónicos e ópticos, incluindo células solares, ecrãs OLED e MEMS. É valorizada pela sua versatilidade na deposição de uma vasta gama de materiais e pela sua capacidade de produzir películas finas de elevada qualidade.
Considerações práticas:
