A evaporação térmica é utilizada no fabrico de películas finas para várias aplicações, particularmente nas indústrias eletrónica e ótica. Esta técnica envolve o aquecimento de um material num ambiente de alto vácuo até vaporizar, condensando depois o vapor num substrato para formar um revestimento de película fina.
Resumo da resposta:
A evaporação térmica é uma técnica de deposição física de vapor utilizada para depositar películas finas de materiais em substratos. É particularmente útil no fabrico de dispositivos electrónicos e ópticos, incluindo células solares, ecrãs OLED e MEMS.
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Explicação pormenorizada:Visão geral do processo:
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A evaporação térmica começa com uma câmara de vácuo que contém um cadinho ou barco feito de materiais refractários como o tungsténio ou o molibdénio. O material a ser depositado (evaporante) é colocado dentro deste cadinho. A câmara é então evacuada para criar um ambiente de alto vácuo, que impede que o material vaporizado reaja ou se espalhe contra outros átomos.
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Aquecimento e evaporação:
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O evaporante é aquecido até ao seu ponto de evaporação, normalmente através do aquecimento joule do barco resistivo. Esta temperatura elevada faz com que o material se vaporize, criando uma nuvem de vapor. A pressão de vapor, mesmo a níveis relativamente baixos devido ao vácuo, é suficiente para formar um fluxo de vapor.Deposição no substrato:
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O material vaporizado viaja através da câmara e deposita-se no substrato. Aqui, condensa-se para formar uma película fina. A espessura e a qualidade da película podem ser controladas através do ajuste de parâmetros como a temperatura do evaporador, a taxa de deposição e a distância entre o evaporador e o substrato.
Materiais e aplicações:
Pode ser depositada uma grande variedade de materiais utilizando a evaporação térmica, incluindo metais como o alumínio, a prata, o níquel e o crómio, bem como semicondutores e compostos orgânicos. Esta versatilidade torna-a adequada para inúmeras aplicações na indústria eletrónica, como a produção de células solares, ecrãs OLED e MEMS.
