A temperatura da evaporação térmica varia normalmente entre 250 e 350 graus Celsius. Esta gama de temperaturas é utilizada para aquecer os materiais de origem num sistema de evaporação térmica, de modo a levá-los de um estado sólido para vapor. É importante notar que a temperatura necessária para a evaporação térmica não é a mesma que a temperatura de evaporação ou sublimação em condições ambientais. O processo de evaporação térmica é realizado em condições de vácuo, o que permite temperaturas mais baixas para libertar o vapor dos materiais.
Diferentes materiais têm diferentes requisitos de temperatura para a evaporação térmica. Por exemplo, o ouro pode ser vaporizado a uma temperatura de cerca de 950 graus Celsius em condições de vácuo, apesar de o seu ponto de ebulição em condições normais ser muito mais elevado, a 2700 graus Celsius. As temperaturas necessárias para vários materiais podem ser encontradas em tabelas amplamente disponíveis.
Também vale a pena considerar que a evaporação térmica não é adequada para evaporar todos os materiais. A evaporação por feixe de electrões pode ser necessária para certos materiais, especialmente metais refractários. A evaporação por feixe de electrões envolve o aquecimento do material de origem numa câmara de alto vácuo com uma pressão inferior a 10-5 Torr. Este vácuo elevado é necessário para minimizar as colisões entre os átomos da fonte e os materiais de fundo. A evaporação térmica funciona normalmente a temperaturas inferiores a 1800 graus Celsius, enquanto a evaporação por feixe de electrões pode suportar temperaturas mais elevadas, como 2000 graus Celsius para evaporar platina.
Em resumo, a evaporação térmica é um processo no qual os materiais são aquecidos numa câmara de vácuo até que os átomos da sua superfície tenham energia suficiente para deixar a superfície e formar um vapor. A gama de temperaturas para a evaporação térmica situa-se normalmente entre 250 e 350 graus Celsius, embora os requisitos específicos de temperatura variem consoante os materiais.
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