O revestimento por pulverização catódica para SEM envolve a deposição de uma camada fina e condutora de material sobre uma amostra para melhorar a sua condutividade, reduzir os efeitos de carga eléctrica e aumentar a emissão de electrões secundários. Isto é conseguido através de um processo chamado pulverização catódica, em que uma descarga incandescente entre um cátodo e um ânodo num ambiente gasoso (normalmente árgon) corrói o material alvo do cátodo (normalmente ouro ou platina). Os átomos pulverizados depositam-se então uniformemente na superfície da amostra, preparando-a para análise num microscópio eletrónico de varrimento.
Processo de Sputtering:
O processo de pulverização catódica começa com a formação de uma descarga incandescente entre um cátodo (que contém o material alvo) e um ânodo numa câmara cheia de gás árgon. O gás árgon é ionizado, criando iões de árgon com carga positiva. Estes iões são acelerados em direção ao cátodo pelo campo elétrico e, com o impacto, deslocam átomos da superfície do cátodo através da transferência de momento. Esta erosão do material do cátodo é conhecida como pulverização catódica.Deposição de átomos pulverizados:
Os átomos pulverizados viajam em todas as direcções e acabam por se depositar na superfície da amostra colocada perto do cátodo. Esta deposição é tipicamente uniforme, formando uma camada fina e condutora. A uniformidade do revestimento é crucial para a análise SEM, uma vez que assegura que a superfície da amostra é coberta de forma uniforme, reduzindo o risco de carga e aumentando a emissão de electrões secundários.
Vantagens para o SEM:
A camada condutora fornecida pelo revestimento por pulverização catódica ajuda a dissipar a acumulação de carga causada pelo feixe de electrões no SEM, o que é particularmente importante para amostras não condutoras. Também melhora o rendimento de electrões secundários, o que leva a um melhor contraste e resolução da imagem. Além disso, o revestimento pode proteger a amostra contra danos térmicos, conduzindo o calor para longe da superfície.Melhorias tecnológicas:
