O processo de revestimento por feixe de electrões envolve a utilização de um feixe de electrões para aquecer e evaporar materiais no vácuo, que depois se condensam para formar películas finas num substrato. Este método é altamente preciso e permite a deposição de camadas direccionais e finas.
Resumo da resposta:
O revestimento por feixe de electrões é uma técnica de deposição de película fina em que é utilizado um feixe de electrões para aquecer e evaporar materiais numa câmara de vácuo. Os materiais evaporados condensam-se então num substrato para formar películas finas. Este processo é conhecido pela sua precisão na deposição de camadas finas e pelas suas capacidades direccionais.
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Explicação pormenorizada:Geração do feixe de electrões:
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O processo começa com a geração de um feixe de electrões num canhão de electrões. Normalmente, isto é conseguido através do aquecimento de um filamento de tungsténio para emitir electrões por emissão termiónica. O filamento é aquecido fazendo passar uma corrente de alta tensão (até 10 kV) através dele. Podem também ser utilizados outros métodos, como a emissão de electrões de campo ou o arco anódico.
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Focalização e deflexão do feixe de electrões:
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O feixe de electrões gerado é então focado e deflectido utilizando mecanismos adequados. Este feixe focado é dirigido do canhão de electrões através da câmara de trabalho de vácuo para o material a evaporar, que está contido num cadinho.Evaporação de materiais:
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Quando o feixe de electrões atinge o material no cadinho, a sua energia cinética é convertida em calor. Este calor é suficiente para evaporar o material. A evaporação ocorre no vácuo para garantir que o feixe de electrões se pode propagar sem obstáculos e que o material evaporado não reage com o ar.
Deposição de películas finas:
O material evaporado viaja através do vácuo e condensa-se num substrato posicionado acima do cadinho. O substrato pode ser rodado e posicionado com precisão para controlar a espessura e a uniformidade da película depositada. O processo pode ser melhorado através da utilização de um feixe de iões para ajudar na deposição, o que melhora a aderência e a densidade da película.
