O revestimento por pulverização catódica para SEM varia normalmente entre 2 e 20 nanómetros (nm) de espessura.
Este revestimento ultrafino é aplicado a amostras não condutoras ou pouco condutoras para evitar o carregamento e melhorar a relação sinal/ruído durante a obtenção de imagens.
A escolha do metal (como o ouro, a prata, a platina ou o crómio) depende dos requisitos específicos da amostra e do tipo de análise que está a ser realizada.
Qual é a espessura do revestimento por pulverização catódica para SEM? (4 pontos-chave explicados)
1. Objetivo do revestimento por pulverização catódica
O revestimento por pulverização catódica é crucial para o MEV porque aplica uma camada condutora a amostras não condutoras ou com baixa condutividade.
Este revestimento ajuda a evitar a acumulação de campos eléctricos estáticos, que podem distorcer a imagem ou danificar a amostra.
Além disso, aumenta a emissão de electrões secundários, melhorando assim a qualidade das imagens SEM.
2. Gama de espessuras
A espessura típica das películas pulverizadas para SEM situa-se entre 2 e 20 nm.
Esta gama é escolhida para assegurar que o revestimento é suficientemente fino para não obscurecer os detalhes finos da amostra, mas suficientemente espesso para proporcionar uma condutividade adequada.
Para MEV de menor ampliação, os revestimentos de 10-20 nm são suficientes e não afectam a imagem.
No entanto, para MEV de maior ampliação com resoluções inferiores a 5 nm, são preferíveis revestimentos mais finos (tão baixos como 1 nm) para evitar obscurecer os pormenores da amostra.
3. Tipos de materiais de revestimento
Os materiais comuns utilizados para o revestimento por pulverização catódica incluem o ouro, a prata, a platina e o crómio.
Cada material tem as suas vantagens específicas, consoante a amostra e o tipo de análise.
Por exemplo, o ouro é frequentemente utilizado devido à sua excelente condutividade, enquanto a platina pode ser escolhida pela sua durabilidade.
Em alguns casos, os revestimentos de carbono são preferidos, especialmente para a espetroscopia de raios X e a difração de retrodispersão de electrões (EBSD), em que os revestimentos metálicos podem interferir com a análise da estrutura de grãos da amostra.
4. Equipamento e técnicas
A escolha da máquina de revestimento por pulverização catódica afecta também a qualidade e a espessura do revestimento.
As máquinas de revestimento por pulverização catódica básicas são adequadas para MEV de menor ampliação e funcionam com níveis de vácuo mais baixos, depositando revestimentos de 10-20 nm.
Por outro lado, as máquinas de revestimento por pulverização catódica topo de gama oferecem níveis de vácuo mais elevados, ambientes de gás inerte e uma monitorização precisa da espessura, permitindo revestimentos muito finos (tão baixos como 1 nm) que são cruciais para a análise SEM e EBSD de alta resolução.
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