A função de uma máquina de revestimento por pulverização catódica é aplicar um revestimento muito fino e funcional num substrato. No caso da microscopia eletrónica de varrimento (SEM), o revestimento por pulverização catódica é utilizado para preparar amostras para análise, depositando uma fina camada de metal, como ouro ou platina, sobre a amostra. Este processo ajuda a melhorar a condutividade, a reduzir os efeitos de carga eléctrica e a fornecer proteção estrutural contra o feixe de electrões.
O revestimento por pulverização catódica envolve a geração de um plasma metálico que é depositado na amostra de forma controlada. O material alvo, ligado ou fixado ao cátodo, é carregado eletricamente para formar um plasma, fazendo com que o material seja ejectado da superfície do alvo. São utilizados ímanes para assegurar uma erosão estável e uniforme do material. O material alvo de alta energia impacta o substrato, formando uma ligação muito forte a nível atómico. Isto significa que o material revestido se torna uma parte permanente do substrato, em vez de ser apenas um revestimento de superfície.
As vantagens do revestimento por pulverização catódica incluem a melhoria da condutividade, a redução dos efeitos de carga e a melhoria da emissão de electrões secundários. O plasma estável criado durante o processo garante uma deposição mais uniforme, resultando num revestimento consistente e duradouro. O revestimento por pulverização catódica é normalmente utilizado em várias aplicações, tais como painéis solares, vidro arquitetónico, microeletrónica, indústria aeroespacial, ecrãs planos e indústria automóvel.
Em geral, a função de um revestimento por pulverização catódica é fornecer uma película fina condutora de eletricidade representativa da amostra a ser visualizada em microscopia eletrónica de varrimento. Esta película inibe o carregamento, reduz os danos térmicos e melhora a emissão de electrões secundários.
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