O processo CVD de carboneto de silício envolve a deposição de camadas de carboneto de silício sobre um substrato através de reacções químicas numa fase gasosa.
Este processo é conhecido por produzir camadas de carboneto de silício de elevada qualidade, puras e uniformes.
Estas camadas são cruciais para várias aplicações industriais devido às suas propriedades únicas.
O carboneto de silício tem baixa densidade, elevada rigidez, dureza extrema e excelente resistência ao desgaste.
O que é o processo CVD do carboneto de silício? Explicação das 4 etapas principais
1. Preparação do substrato
O substrato, frequentemente de silício, é limpo e preparado com pó de diamante abrasivo.
Isto assegura uma superfície limpa para o processo de deposição.
O silício é normalmente utilizado porque se alinha bem com a orientação cristalográfica necessária.
2. Introdução de gás
O metano de alta pureza é misturado com hidrogénio de pureza ultra elevada (UHP) numa proporção de 1:99.
Esta mistura é introduzida no reator.
O metano fornece a fonte de carbono necessária, enquanto o hidrogénio ajuda nas reacções químicas e mantém a pureza do processo.
3. Energização e deposição
Os gases são activados através do aquecimento do substrato a cerca de 800 °C.
Iniciam-se assim as reacções químicas necessárias para a deposição de carboneto de silício.
Esta etapa é fundamental para a qualidade e as propriedades da camada de carboneto de silício depositada.
4. Crescimento e formação
Os gases energizados decompõem-se a altas temperaturas.
Isto leva a reacções químicas na superfície do substrato, formando uma película de cristais sólidos de carboneto de silício.
O processo continua até que a espessura e a uniformidade desejadas sejam alcançadas.
O produto sólido é então separado do substrato e o gás de reação é continuamente introduzido para permitir o crescimento da película de cristal.
Este processo CVD permite a produção de carboneto de silício com uma resistência eléctrica muito baixa.
É adequado para aplicações que requerem caraterísticas finas e rácios de aspeto elevados, tais como em dispositivos electrónicos e MEMS.
A precisão e o controlo oferecidos pelo método CVD fazem dele a escolha preferida para o fabrico de componentes de carboneto de silício de alta qualidade.
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