A pulverização catódica por magnetrão RF é uma técnica utilizada para produzir películas finas, especialmente quando se utilizam materiais não condutores. Neste processo, um material de substrato é colocado numa câmara de vácuo e o ar é removido. O material alvo, que irá formar a película fina, é libertado para a câmara sob a forma de um gás. São utilizados ímanes potentes para ionizar o material alvo, criando plasma. O material alvo carregado negativamente alinha-se então no substrato para formar uma película fina.
A pulverização catódica por magnetrão RF utiliza uma fonte de energia de corrente alternada (CA) de alta tensão para enviar ondas de rádio através da câmara de vácuo, criando gás de pulverização catódica carregado positivamente. O campo magnético gerado pelos ímanes aprisiona os electrões e a descarga de plasma de gás sobre o material alvo carregado negativamente. Isto evita que os electrões e a descarga RF bombardeiem o substrato, resultando em taxas de deposição por pulverização mais rápidas.
Em comparação com a pulverização catódica DC tradicional, a pulverização catódica magnetrónica RF tem a vantagem de reduzir a acumulação de carga na superfície do alvo, o que pode eventualmente levar à interrupção da deposição da película fina. O campo magnético na pulverização catódica por magnetrão RF melhora a eficiência da formação de iões de gás e limita a descarga do plasma, permitindo uma corrente mais elevada a uma pressão de gás mais baixa e alcançando uma taxa de deposição ainda mais elevada.
A pulverização catódica por RF não exige que a superfície alvo seja eletricamente condutora como a pulverização catódica por DC, expandindo a gama de materiais que podem ser utilizados no processo de pulverização catódica. No entanto, a pulverização catódica RF requer materiais dispendiosos e equipamento especializado.
De um modo geral, a pulverização catódica por RF é uma técnica eficaz para depositar películas finas de revestimentos metálicos que melhoram os substratos com propriedades específicas, como a resistência a riscos, a condutividade e a durabilidade.
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