A uniformidade de uma película refere-se à consistência das propriedades da película ao longo de um substrato, principalmente no que diz respeito à espessura da película, mas também aplicável a outras propriedades, como o índice de refração. Conseguir uma boa uniformidade é crucial para a qualidade e funcionalidade da película em várias aplicações.
Uniformidade da espessura da película:
A uniformidade da espessura da película é um aspeto crítico da qualidade da película. Ela mede a uniformidade com que a película é depositada na superfície do substrato. No contexto do revestimento por pulverização catódica, o processo envolve a utilização de iões incidentes obtidos através de métodos de descarga de gás. A pressão de trabalho dentro da câmara de vácuo, normalmente entre 10^-2 Pa e 10 Pa, influencia a uniformidade. Durante a pulverização catódica, os iões colidem frequentemente com moléculas de gás, fazendo com que a sua direção se desvie aleatoriamente. Esta aleatoriedade, combinada com a maior área de superfície alvo a partir da qual ocorre a pulverização catódica, conduz geralmente a uma deposição mais uniforme em comparação com outros métodos de revestimento a vácuo. Isto é particularmente importante para peças com geometrias complexas, como ranhuras em gancho ou degraus, onde a uniformidade pode minimizar as diferenças na espessura da película causadas pelo efeito catódico.Uniformidade de outras propriedades da película:
Para além da espessura, a uniformidade também se pode referir à consistência de outras propriedades da película, como o índice de refração. O índice de refração é uma propriedade ótica que pode ser medida utilizando técnicas como a elipsometria. Fornece informações sobre a densidade da película, a constante dieléctrica e a estequiometria. Por exemplo, em películas de nitreto de silício, um índice de refração de 2,0 é o ideal. Os desvios deste valor podem indicar a presença de impurezas ou variações na composição da película, o que pode afetar o seu desempenho e fiabilidade.
Impacto dos métodos de deposição:
