Resumo: Duas vantagens da utilização da pulverização catódica em vez da evaporação para criar um sistema de interligação de metais são a melhor qualidade e uniformidade da película e o controlo mais fácil da espessura e composição da película.
Explicação detalhada:
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Melhor qualidade e uniformidade do filme: A pulverização catódica é conhecida por produzir filmes com qualidade e uniformidade superiores em comparação com a evaporação. Isso ocorre porque a pulverização catódica envolve o bombardeio de um material alvo com partículas energéticas, o que leva a uma deposição mais uniforme do material no substrato. A película resultante é mais consistente em toda a sua superfície, o que pode levar a um maior rendimento nos processos de fabrico. Esta uniformidade é crucial em sistemas de interconexão de metal onde as propriedades eléctricas consistentes são essenciais.
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Controle mais fácil da espessura e da composição do filme: A pulverização catódica permite um controle mais preciso sobre a espessura do filme depositado, ajustando o tempo de deposição e os parâmetros operacionais. Além disso, o controle da composição da liga e de outras propriedades do filme, como cobertura de degraus e estrutura de grãos, é mais simples com a pulverização catódica do que com a evaporação. Este controlo é vital para a criação de sistemas de interligação metálica que requerem propriedades específicas do material para funcionarem eficazmente. A pulverização catódica também permite a deposição de materiais com pontos de fusão muito altos, que são difíceis ou impossíveis de evaporar, expandindo assim a gama de materiais que podem ser usados em sistemas de interconexão.
Estas vantagens fazem da pulverização catódica o método preferido para a criação de sistemas de interconexão metálica em que a precisão, a uniformidade e o controlo das propriedades dos materiais são fundamentais.
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