A evaporação térmica é uma técnica utilizada para depositar películas finas de materiais.
Envolve o aquecimento de um material até ao seu ponto de evaporação num ambiente de alto vácuo.
Isto faz com que o material transite de um estado sólido ou líquido para um estado de vapor.
As moléculas vaporizadas deslocam-se então para um substrato onde formam um revestimento de película fina.
Este processo é normalmente utilizado para materiais como o alumínio, a prata, o níquel, o crómio, o magnésio e outros.
O que são fontes de evaporação térmica? 5 métodos principais explicados
1. Evaporação de filamentos
A evaporação por filamento utiliza um simples elemento de aquecimento elétrico ou filamento.
O material é aquecido através do aquecimento joule, que é o processo de aquecimento de um material resistivo através da passagem de uma corrente eléctrica através dele.
Este método também é conhecido como evaporação resistiva.
2. Evaporação por feixe de electrões ou feixe E
Neste método, um feixe de electrões é dirigido ao material de origem para o aquecer diretamente.
A elevada energia do feixe de electrões provoca a evaporação do material e a sua entrada na fase gasosa.
Este método permite um controlo preciso do processo de aquecimento e pode ser utilizado com materiais que são difíceis de evaporar utilizando o aquecimento por filamento.
3. Agitação molecular térmica
A evaporação térmica baseia-se no princípio da agitação molecular térmica.
A aplicação de calor a um material aumenta a energia das suas moléculas.
Quando a energia excede o potencial termodinâmico, as moléculas escapam da superfície sob a forma de vapor.
Este princípio é semelhante a processos naturais como a evaporação da água, mas é aplicado num ambiente controlado de alto vácuo para depositar películas finas de materiais.
4. Pressão de vapor de equilíbrio (EVP)
A pressão de vapor de equilíbrio (EVP) à qual os materiais começam a evaporar no vácuo é de cerca de 10-2 Torr.
Alguns materiais, como o titânio, podem sublimar ou evaporar a temperaturas próximas dos seus pontos de fusão, o que os torna adequados para processos de evaporação térmica.
5. Aplicações e vantagens
A evaporação térmica oferece várias vantagens, incluindo taxas de deposição relativamente elevadas, controlo em tempo real da taxa e da espessura e um bom controlo direcional do fluxo de evaporação.
Isto torna-a adequada para processos como o lift-off para obter revestimentos com padrão direto.
A técnica é versátil e simples, com aplicações que vão da eletrónica aos revestimentos em várias indústrias.
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