A pulverização catódica por radiofrequência é uma técnica de deposição de películas finas que utiliza energia de radiofrequência (RF) para criar um plasma num ambiente de vácuo.
Este método é especialmente eficaz para depositar películas finas em materiais alvo isolantes ou não condutores.
Como funciona a pulverização catódica RF: Um guia detalhado em 6 etapas
1. Configuração e inicialização
O processo começa por colocar o material alvo e o substrato numa câmara de vácuo.
O material alvo é a substância da qual a película fina será derivada.
O substrato é a superfície sobre a qual a película será depositada.
2. Introdução de gás inerte
Um gás inerte, como o árgon, é introduzido na câmara.
A escolha do gás é crucial, uma vez que este não deve reagir quimicamente com o material alvo ou com o substrato.
3. Ionização do gás
É aplicada uma fonte de energia de RF à câmara, normalmente a uma frequência de 13,56 MHz.
Este campo elétrico de alta frequência ioniza os átomos do gás, retirando-lhes os electrões e criando um plasma composto por iões positivos e electrões livres.
4. Formação do plasma e pulverização catódica
Os iões positivos no plasma são atraídos para o alvo carregado negativamente devido ao potencial elétrico criado pela energia de RF.
Quando estes iões colidem com o material alvo, provocam a ejeção de átomos ou moléculas da superfície do alvo.
5. Deposição de película fina
O material ejectado do alvo viaja através do plasma e deposita-se no substrato, formando uma película fina.
Este processo continua até se atingir a espessura desejada da película.
6. Vantagens da pulverização catódica RF
A pulverização catódica por radiofrequência é particularmente vantajosa para a deposição de películas em materiais isolantes porque a potência de radiofrequência pode efetivamente remover qualquer acumulação de carga na superfície do alvo.
Isto evita a formação de arcos e assegura um processo de deposição uniforme e contínuo.
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