A Deposição de Vapor Químico Assistida por Plasma (PACVD) é um método de deposição de vapor químico que utiliza plasma para melhorar as reacções químicas necessárias para a deposição de películas finas em superfícies. Este método caracteriza-se pela sua capacidade de funcionar a temperaturas relativamente baixas, o que é benéfico para a deposição de materiais como o carbono tipo diamante (DLC), que requerem um controlo preciso da temperatura. O PACVD envolve a utilização de plasma de alta frequência para fornecer a energia necessária para as reacções químicas, resultando num aumento mínimo da temperatura na peça de trabalho.
Explicação pormenorizada:
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Mecanismo do processo:
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O PACVD funciona através da introdução de materiais precursores gasosos numa câmara de vácuo equipada com dois eléctrodos planos. Um destes eléctrodos é acoplado por radiofrequência (r.f.) à fonte de alimentação, o que gera um plasma. Este plasma contém electrões de alta energia que facilitam as reacções químicas, decompondo os gases precursores em espécies reactivas. As espécies reactivas depositam-se então na peça de trabalho, formando uma película fina.Controlo da temperatura:
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Uma das principais vantagens do PACVD é a sua capacidade de depositar películas a baixas temperaturas, normalmente cerca de 200°C. Esta operação a baixa temperatura é crucial para a deposição de camadas de DLC, que são conhecidas pelo seu baixo coeficiente de atrito e dureza de superfície escalável. A capacidade de trabalhar a estas temperaturas também permite a deposição de revestimentos orgânicos e é particularmente vantajosa na indústria de semicondutores, onde a temperatura do substrato é um fator crítico.
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Combinação com PVD:
- A PACVD é frequentemente combinada com a deposição física de vapor (PVD) para criar arquitecturas de camadas complexas e facilitar a dopagem de camadas DLC. Esta combinação potencia os pontos fortes de ambos os processos, aumentando a versatilidade e a funcionalidade das películas depositadas.
- Vantagens:Elevada resistência ao desgaste:
- As películas depositadas por PACVD são altamente resistentes ao desgaste, tornando-as adequadas para aplicações que exigem durabilidade.Baixo coeficiente de fricção:
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As películas depositadas por PACVD, especialmente as de DLC, têm um baixo coeficiente de fricção, o que é benéfico para reduzir o desgaste dos componentes mecânicos.Resistência à corrosão:
Estes revestimentos também oferecem uma boa resistência à corrosão, prolongando a vida útil dos componentes revestidos em ambientes corrosivos.
Aplicações:
