A gama de funcionamento de uma bomba de difusão é tipicamente de 1 x 10-3 Torr a 5 x 10-9 Torr. Isto significa que é capaz de produzir um vácuo elevado dentro deste intervalo. As bombas de difusão são conhecidas pela sua durabilidade e fiabilidade devido à ausência de peças móveis. O funcionamento de uma bomba de difusão depende de dois elementos principais: o óleo da bomba de difusão e um aquecedor. O aquecedor aquece o óleo, fazendo-o vaporizar e subir. O vapor de óleo ascendente é então comprimido numa pilha cónica vertical com aberturas de jato, criando um guarda-chuva de vapor que capta o ar.
Em termos de desempenho do forno, um forno com bomba de difusão pode atingir um vácuo final na ordem dos 10-6 Torr. O vácuo operacional com uma bomba de difusão é tipicamente da ordem dos 10-5 Torr. O tempo de paragem da bomba para atingir o cruzamento de alto vácuo é de aproximadamente 10 minutos, enquanto o tempo de paragem da bomba para atingir 1 x 10-4 Torr é de aproximadamente 15 minutos. A taxa de fuga do forno deve ser inferior a 5 microns por hora para um funcionamento correto.
Os componentes do sistema de vácuo de uma bomba de difusão incluem normalmente uma bomba mecânica ou um sistema do tipo bomba mecânica/soprador como fase inicial do vácuo. A pressões inferiores a 20 Torr, a eficiência de uma bomba mecânica começa a diminuir, sendo então utilizada uma bomba de reforço. A bomba de difusão é activada no sistema de bombagem entre 10 e 1 mícron, permitindo que o sistema bombeie até ao vácuo elevado e inferior. A bomba de difusão não tem partes móveis e funciona através da vaporização do óleo, condensando-o e extraindo moléculas de gás através do sistema de bombagem. Uma bomba de retenção é utilizada para criar uma maior pressão dentro da linha de frente para evitar que o óleo dentro da bomba de difusão escape para o recipiente.
A manutenção de uma bomba de difusão envolve garantir o nível adequado de óleo e assegurar que o aquecedor está operacional. O elemento de aquecimento é tipicamente um elemento tubular mantido contra a placa da caldeira por uma placa de esmagamento, que é alinhada com a placa de fixação usando pinos roscados na bomba. O alinhamento correto é crucial para um funcionamento eficiente.
Em geral, as bombas de difusão são amplamente utilizadas em aplicações industriais, tais como microscopia de feixe de electrões, deposição de vácuo, revestimentos e fornos de vácuo, devido à sua durabilidade, fiabilidade e capacidade de produzir níveis de vácuo elevados.
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