Conhecimento Qual é a gama de funcionamento de uma bomba de difusão? (5 pontos-chave)
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Equipe técnica · Kintek Solution

Atualizada há 2 meses

Qual é a gama de funcionamento de uma bomba de difusão? (5 pontos-chave)

A gama de funcionamento de uma bomba de difusão é tipicamente de 1 x 10-3 Torr a 5 x 10-9 Torr.

Isto significa que é capaz de produzir um vácuo elevado dentro deste intervalo.

As bombas de difusão são conhecidas pela sua durabilidade e fiabilidade devido à ausência de peças móveis.

O funcionamento de uma bomba de difusão depende de dois elementos principais: o óleo da bomba de difusão e um aquecedor.

O aquecedor aquece o óleo, fazendo-o vaporizar e subir.

O vapor de óleo ascendente é então comprimido numa pilha cónica vertical com aberturas de jato, criando um guarda-chuva de vapor que capta o ar.

5 Pontos-chave sobre a gama de funcionamento de uma bomba de difusão

Qual é a gama de funcionamento de uma bomba de difusão? (5 pontos-chave)

1. Gama de vácuo operacional

Em termos de desempenho do forno, um forno com bomba de difusão pode atingir um vácuo final no intervalo de 10-6 Torr.

O vácuo operacional com uma bomba de difusão está, tipicamente, na faixa de 10-5 Torr.

2. Tempos de bombagem

O tempo de paragem da bomba para atingir o cruzamento de alto vácuo é de aproximadamente 10 minutos.

O tempo de descida da bomba para atingir 1 x 10-4 Torr é de aproximadamente 15 minutos.

3. Taxa de fuga do forno

A taxa de fuga do forno deve ser inferior a 5 microns por hora para um funcionamento correto.

4. Componentes do sistema de vácuo

Os componentes do sistema de vácuo de uma bomba de difusão normalmente incluem uma bomba mecânica ou um sistema do tipo bomba mecânica/soprador como estágio inicial de vácuo.

A pressões inferiores a 20 Torr, a eficiência de uma bomba mecânica começa a diminuir, sendo então utilizada uma bomba de reforço.

A bomba de difusão é activada no sistema de bombagem entre 10 e 1 mícron, permitindo que o sistema bombeie até ao vácuo elevado e inferior.

5. Manutenção e funcionamento

A manutenção de uma bomba de difusão envolve assegurar o nível adequado de óleo e garantir que o aquecedor está operacional.

O elemento de aquecimento é tipicamente um elemento tubular mantido contra a placa da caldeira por uma placa de esmagamento, que é alinhada com a placa de aperto usando pinos roscados na bomba.

O alinhamento correto é crucial para um funcionamento eficiente.

Em geral, as bombas de difusão são amplamente utilizadas em aplicações industriais como microscopia de feixe de electrões, deposição em vácuo, revestimentos e fornos de vácuo devido à sua durabilidade, fiabilidade e capacidade de produzir níveis de vácuo elevados.

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