A deposição por pulverização catódica é uma técnica de deposição física de vapor (PVD) utilizada para depositar películas finas através da ejeção de material de um alvo para um substrato.
Este processo envolve a utilização de um plasma para eliminar os átomos do material alvo, que depois se condensam no substrato para formar uma película fina.
5 etapas principais da deposição por pulverização catódica
1. Exposição ao Plasma
O processo começa com a criação de um plasma, normalmente utilizando gás árgon.
Este plasma contém iões e electrões.
O material alvo, que é a fonte do material a ser depositado, é colocado neste ambiente de plasma.
2. Bombardeamento de iões
O material alvo está ligado a um cátodo carregado negativamente, enquanto o substrato está ligado a um ânodo carregado positivamente.
O campo elétrico entre o cátodo e o ânodo faz com que os electrões livres acelerem em direção ao ânodo, colidindo com átomos de árgon e convertendo-os em iões de carga positiva.
Estes iões de árgon são então acelerados em direção ao cátodo e colidem com o material alvo.
3. Ejeção de átomos
O impacto dos iões de árgon no material alvo faz com que os átomos do alvo sejam ejectados ou pulverizados.
Este processo de pulverização catódica é essencialmente a remoção física de átomos da superfície do alvo devido à transferência de momento dos iões em impacto.
4. Deposição no substrato
Os átomos pulverizados são transportados através do plasma para o substrato, onde se condensam e formam uma película fina.
A espessura da película pode ser controlada através do ajuste do tempo de deposição e de outros parâmetros operacionais.
5. Vantagens e aplicações
A deposição por pulverização catódica oferece várias vantagens, incluindo a capacidade de depositar películas uniformes em grandes áreas e o fácil controlo da espessura da película.
É amplamente utilizada em várias indústrias, como a produção de discos rígidos de computador, circuitos integrados, vidro revestido, ferramentas de corte e discos ópticos como CDs e DVDs.
Contexto histórico e evolução
A técnica evoluiu significativamente desde as suas primeiras observações no século XIX.
As melhorias na tecnologia de vácuo e a introdução de novas técnicas de pulverização catódica, como a pulverização catódica com magnetrões, tornaram-na um método fiável e eficaz para a deposição de películas finas.
Este método de deposição por pulverização catódica é crucial nos processos de fabrico modernos devido à sua precisão e versatilidade na deposição de vários materiais.
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