O tamanho do grão dos materiais de revestimento por pulverização catódica varia consoante o metal específico utilizado. Para o ouro e a prata, o tamanho de grão esperado é tipicamente entre 5-10 nm. O ouro, apesar de ser um metal de pulverização catódica comum devido às suas características de condução eléctrica eficaz, tem o maior tamanho de grão entre os metais normalmente utilizados para pulverização catódica. Este tamanho de grão maior torna-o menos adequado para aplicações de revestimento de alta resolução. Em contrapartida, metais como o ouro-paládio e a platina são preferidos pelas suas dimensões de grão mais pequenas, que são vantajosas para a obtenção de revestimentos de maior resolução. Metais como o crómio e o irídio oferecem tamanhos de grão ainda mais pequenos, que são adequados para aplicações que requerem revestimentos muito finos, mas que exigem a utilização de um sistema de pulverização catódica de alto vácuo (bombeamento turbomolecular).
A escolha do metal para revestimento por pulverização catódica em aplicações SEM é crucial, uma vez que afecta a resolução e a qualidade das imagens obtidas. O processo de revestimento envolve a deposição de uma camada ultrafina de metal sobre uma amostra não condutora ou pouco condutora para evitar o carregamento e aumentar a emissão de electrões secundários, melhorando assim a relação sinal/ruído e a clareza das imagens SEM. A dimensão do grão do material de revestimento tem um impacto direto nestas propriedades, sendo que os grãos mais pequenos conduzem geralmente a um melhor desempenho na obtenção de imagens de alta resolução.
Em resumo, o tamanho de grão dos revestimentos por pulverização catódica para aplicações SEM varia entre 5-10 nm para ouro e prata, com opções para tamanhos de grão mais pequenos disponíveis através da utilização de metais como ouro-paládio, platina, crómio e irídio, dependendo dos requisitos específicos da resolução de imagem e das capacidades do sistema de pulverização catódica.
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