O revestimento por pulverização catódica no SEM envolve a aplicação de uma camada ultrafina de metal condutor de eletricidade em amostras não condutoras ou pouco condutoras. Este processo é crucial para evitar o carregamento do espécime e melhorar a relação sinal/ruído nas imagens de SEM. O revestimento, tipicamente com 2-20 nm de espessura, é aplicado usando uma técnica que envolve a geração de um plasma de metal e a sua deposição na amostra.
Explicação pormenorizada:
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Objetivo do revestimento por pulverização catódica:
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O revestimento por pulverização catódica é utilizado principalmente para resolver o problema do carregamento de amostras no MEV. Os materiais não condutores podem acumular campos eléctricos estáticos quando expostos ao feixe de electrões, o que distorce a imagem e pode danificar a amostra. Ao aplicar uma camada condutora, como o ouro, a platina ou as suas ligas, a carga é dissipada, garantindo uma imagem nítida e sem distorções.Técnica e processo:
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O processo de revestimento por pulverização catódica envolve a criação de um plasma metálico através de uma descarga incandescente, em que o bombardeamento de iões de um cátodo corrói o material. Os átomos pulverizados depositam-se então na amostra, formando uma película fina e condutora. Este processo é cuidadosamente controlado para garantir um revestimento uniforme e consistente, utilizando frequentemente equipamento automatizado para manter uma elevada precisão e qualidade.
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Vantagens para a imagiologia SEM:
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Além de evitar o carregamento, o revestimento por pulverização catódica também aumenta a emissão de electrões secundários da superfície da amostra. Este aumento na produção de electrões secundários melhora a relação sinal/ruído, conduzindo a imagens mais claras e detalhadas. Além disso, o revestimento condutor pode ajudar a reduzir os danos térmicos na amostra, conduzindo o calor gerado pelo feixe de electrões.Tipos de metais utilizados:
Os metais comuns utilizados para o revestimento por pulverização catódica incluem o ouro (Au), ouro/paládio (Au/Pd), platina (Pt), prata (Ag), crómio (Cr) e irídio (Ir). A escolha do metal depende de factores como as propriedades da amostra e os requisitos específicos da análise SEM.Espessura do revestimento:
