O revestimento por pulverização catódica no SEM envolve a aplicação de uma camada ultrafina de metal condutor de eletricidade em amostras não condutoras ou pouco condutoras.
Este processo é crucial para evitar o carregamento do espécime e melhorar a relação sinal/ruído nas imagens de SEM.
O revestimento, normalmente com 2-20 nm de espessura, é aplicado usando uma técnica que envolve a geração de um plasma de metal e a sua deposição na amostra.
5 pontos-chave para entender o revestimento por pulverização catódica no MEV
1. Objetivo do revestimento por pulverização
O revestimento por pulverização catódica é usado principalmente para resolver o problema de carregamento de amostras no MEV.
Materiais não condutores podem acumular campos elétricos estáticos quando expostos ao feixe de elétrons, o que distorce a imagem e pode danificar a amostra.
Ao aplicar uma camada condutora, como o ouro, a platina ou as suas ligas, a carga é dissipada, garantindo uma imagem nítida e sem distorções.
2. Técnica e processo
O processo de revestimento por pulverização catódica envolve a criação de um plasma metálico através de uma descarga incandescente, em que o bombardeamento de iões de um cátodo corrói o material.
Os átomos pulverizados depositam-se então sobre a amostra, formando uma película fina e condutora.
Este processo é cuidadosamente controlado para garantir um revestimento uniforme e consistente, utilizando frequentemente equipamento automatizado para manter uma elevada precisão e qualidade.
3. Vantagens para a imagiologia SEM
Além de evitar o carregamento, o revestimento por pulverização catódica também aumenta a emissão de electrões secundários a partir da superfície da amostra.
Este aumento na produção de electrões secundários melhora a relação sinal/ruído, conduzindo a imagens mais claras e detalhadas.
Além disso, o revestimento condutor pode ajudar a reduzir os danos térmicos na amostra, conduzindo o calor gerado pelo feixe de electrões.
4. Tipos de metais utilizados
Os metais mais comuns utilizados no revestimento por pulverização catódica são o ouro (Au), o ouro/paládio (Au/Pd), a platina (Pt), a prata (Ag), o crómio (Cr) e o irídio (Ir).
A escolha do metal depende de factores como as propriedades da amostra e os requisitos específicos da análise SEM.
5. Espessura do revestimento
A espessura da película pulverizada é crítica e, normalmente, varia entre 2 e 20 nm.
Uma película demasiado fina pode não impedir adequadamente o carregamento, enquanto uma película demasiado espessa pode obscurecer os detalhes da superfície da amostra.
Por conseguinte, é essencial alcançar o equilíbrio certo para obter imagens SEM óptimas.
Em resumo, o revestimento por pulverização catódica é um passo preparatório vital no SEM para amostras não condutoras ou pouco condutoras, melhorando a sua qualidade de imagem ao impedir o carregamento e ao melhorar a relação sinal/ruído.
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