A pulverização catódica por feixe de iões (IBS) é uma técnica de deposição de película fina altamente precisa com aplicações em vários domínios, incluindo a ótica de precisão, a produção de semicondutores e a criação de películas de nitreto. O processo envolve a focalização de um feixe de iões num material alvo, que depois é pulverizado sobre um substrato, resultando em películas densas e de alta qualidade.
Ótica de precisão:
A pulverização catódica por feixe de iões é crucial na produção de ótica de precisão. Permite a deposição de películas finas com uma uniformidade e densidade excepcionais, essenciais para aplicações como lentes e revestimentos de barras de laser. O controlo preciso oferecido pela IBS permite que os fabricantes atinjam uma precisão à escala atómica na remoção e deposição de camadas superficiais, melhorando as propriedades ópticas dos componentes.Produção de semicondutores:
Na indústria de semicondutores, a IBS desempenha um papel vital na deposição de películas que são críticas para o desempenho dos dispositivos. A técnica é utilizada para depositar películas com estequiometria controlada, o que pode melhorar as propriedades eléctricas e mecânicas dos materiais semicondutores. Por exemplo, a utilização de iões O2+ e Ar+ durante a deposição pode modificar as propriedades da película, como a densidade e a estrutura cristalina, melhorando a funcionalidade global do dispositivo.
Filmes de nitretos:
A IBS também é utilizada na criação de películas de nitreto, que são essenciais em várias aplicações industriais devido à sua dureza e resistência ao desgaste. O processo permite o controlo preciso das propriedades da película, como a espessura e a composição, o que é crucial para alcançar as características de desempenho desejadas em aplicações que vão desde revestimentos resistentes ao desgaste a dispositivos electrónicos.Outras aplicações:
Para além destas, a IBS é utilizada em microscopia eletrónica de campo, difração de electrões de baixa energia e análise Auger, onde a criação de uma superfície limpa e bem definida é fundamental. A capacidade da técnica para depositar películas com elevada energia cinética também aumenta a força de ligação dos revestimentos, tornando-a ideal para aplicações que requerem uma adesão e durabilidade robustas.
