Os tubos de quartzo são capazes de suportar uma quantidade significativa de pressão.
A resistência à tração projectada para o quartzo fundido com boa qualidade de superfície é superior a 4,8 x 10^7 Pa (7.000 psi).
Isto significa que o tubo de quartzo pode suportar pressões de até 4,8 x 10^7 Pa ou 7.000 psi sem quebrar ou falhar.
5 Principais percepções
1. Resistência à tração de projeto
A resistência à tração de projeto para quartzo fundido com boa qualidade de superfície é superior a 4,8 x 10^7 Pa (7.000 psi).
2. Sistema de forno LPCVD
No contexto do sistema de forno LPCVD mencionado, a pressão de trabalho é especificada como 45.000 psi (310 MPa).
Isto indica que o tubo de quartzo utilizado neste sistema foi concebido para suportar pressões até 45 000 psi sem qualquer problema.
3. Pressão da câmara de vácuo
A câmara de vácuo no sistema de deposição mencionado tem a capacidade de atingir uma pressão mínima num curto espaço de tempo.
A pressão no interior da câmara de vácuo desempenha um papel crucial no processo de cobertura da amostra e na qualidade da película fina depositada.
Para monitorizar com precisão a pressão no interior da câmara, são utilizados manómetros fiáveis e precisos.
O manómetro utilizado no sistema de deposição mencionado é capaz de indicar a pressão na gama da pressão atmosférica até 10^-9 Torr.
4. Importância da baixa pressão
É também de salientar que a manutenção de uma pressão baixa é importante em determinados processos para evitar efeitos químicos na amostra.
Por exemplo, no caso de uma atmosfera de carbono num forno de vácuo, é necessário manter a pressão abaixo de 1 ou 2 mm para evitar quaisquer efeitos químicos apreciáveis na amostra.
Um tubo de porcelana refractária, fechado numa extremidade e suspenso na parte fria do forno, é normalmente utilizado para proteger a amostra do vapor ou partículas de carbono.
Este tubo ajuda a diminuir a convenção dos gases redutores que passam pelo provete, reduzindo a ação redutora global.
5. Capacidade de pressão específica
Em geral, a pressão específica que um tubo de quartzo pode suportar depende da sua conceção e qualidade.
Nas referências mencionadas, os tubos de quartzo são concebidos para suportar pressões elevadas, tendo o sistema de forno LPCVD uma pressão de trabalho de 45.000 psi (310 MPa).
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