A câmara de deposição requer um vácuo elevado, principalmente para garantir a pureza e a qualidade das películas depositadas.
Isto é conseguido através da minimização da pressão do gás para aumentar o caminho livre médio dos átomos vaporizados, reduzindo os níveis de contaminação e melhorando o controlo sobre a composição da fase de gás e vapor.
Porque é que a câmara de deposição é de alto vácuo? 4 razões principais explicadas
1. Aumento do Caminho Livre Médio
Num ambiente de alto vácuo, a pressão do gás é significativamente reduzida.
Isto aumenta o caminho livre médio dos átomos vaporizados.
Estes átomos percorrem distâncias mais longas sem colidir com outras moléculas de gás.
Isto é crucial porque evita a nucleação de fuligem no vapor.
Assegura que os átomos atingem o substrato sem dispersão.
Isto leva a uma deposição mais uniforme e de alta qualidade.
2. Níveis de Contaminação Reduzidos
As condições de alto vácuo reduzem drasticamente a presença de gases de fundo na câmara.
Estes gases são potenciais fontes de contaminação.
Isto é particularmente importante para aplicações sensíveis ao oxigénio e à humidade.
Por exemplo, dispositivos orgânicos emissores de luz e fotovoltaicos orgânicos.
Mesmo quantidades vestigiais destes gases podem extinguir as espécies funcionais activas.
Ao manter um vácuo na gama de 10^-6 a 10^-9 Torr, a pureza das películas evaporadas é significativamente melhorada.
3. Maior controlo da composição das fases de gás e vapor
O ambiente de alto vácuo permite aos técnicos controlar com precisão a composição das fases de gás e vapor.
Este controlo é essencial para a criação de películas finas especializadas.
Por exemplo, as utilizadas em revestimentos ópticos.
A composição química da película deve ser exacta.
4. Superfícies limpas para uma melhor aderência
Um vácuo elevado também garante que as superfícies dentro da câmara estão limpas.
Esta limpeza é vital.
Permite que os átomos evaporados adiram melhor ao substrato, formando uma camada estável e uniforme.
Formando uma camada estável e uniforme.
Sem um vácuo elevado, os átomos evaporados podem não aderir bem.
Isto pode levar a uma deposição instável ou irregular.
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