A evaporação por feixe de electrões é um processo que utiliza uma vasta gama de materiais, incluindo metais, cerâmicas e dieléctricos.
Estes materiais são selecionados porque têm pontos de fusão elevados, o que é essencial para depositar películas finas em vários substratos.
7 Principais Materiais Explicados
1. Metais tradicionais
Os metais tradicionais utilizados na evaporação por feixe eletrónico incluem o alumínio, o cobre, o níquel, o titânio, o estanho e o crómio.
2. Metais preciosos
Os metais preciosos, como o ouro, a prata e a platina, também são normalmente utilizados neste processo.
3. Metais refractários
Os metais refractários, como o tungsténio e o tântalo, são escolhidos pela sua capacidade de resistir a temperaturas extremamente elevadas.
4. Outros materiais
Outros materiais incluem o óxido de índio e estanho e o dióxido de silício, que são utilizados para aplicações específicas.
5. Materiais de substrato
Os substratos sobre os quais estes materiais são depositados podem variar muito.
Os substratos comuns incluem bolachas de silício, quartzo e safira para a eletrónica e nitreto de silício para a cerâmica.
O vidro também é utilizado, especialmente em aplicações como painéis solares e vidro arquitetónico.
6. Componentes do sistema
A evaporação por feixe de electrões envolve vários componentes-chave:
- Câmara de vácuo: É essencial para manter um ambiente limpo e evitar a contaminação.
- Fonte de feixe de electrões: Normalmente, um filamento feito de tungsténio, que liberta electrões focados num feixe por ímanes.
- Cadinho: Contém o material de origem e pode ser feito de cobre, tungsténio ou cerâmica técnica, dependendo dos requisitos de temperatura.
7. Desvantagens
Apesar das suas vantagens, os sistemas de evaporação por feixe eletrónico requerem tensões elevadas, que podem ser perigosas e exigem precauções de segurança alargadas.
Além disso, a configuração e a manutenção destes sistemas podem ser complexas e dispendiosas.
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