A evaporação por feixe de electrões utiliza uma vasta gama de materiais, incluindo metais, cerâmicas e dieléctricos. Estes materiais são escolhidos pelos seus elevados pontos de fusão e são utilizados para depositar películas finas em vários substratos.
Materiais de evaporação:
- A evaporação por feixe de electrões é particularmente adequada para materiais com temperaturas de fusão elevadas. Isto inclui:Metais tradicionais:
- Alumínio, cobre, níquel, titânio, estanho e crómio.Metais preciosos:
- Ouro, prata e platina.Metais refractários:
- Tungsténio e tântalo.Outros materiais:
Óxido de índio e estanho, dióxido de silício, entre outros.
Estes materiais são escolhidos devido à sua capacidade de suportar as elevadas temperaturas geradas pelo feixe de electrões, que podem atingir mais de 2.000 graus Celsius. A versatilidade da evaporação por feixe eletrónico permite a deposição destes materiais em vários substratos.Materiais de substrato:
- Os substratos nos quais estes materiais são depositados também podem variar muito, incluindo:
- Eletrónica: Bolachas de silício, quartzo e safira.
- Cerâmica: Nitreto de silício.
Vidro:
Comum em aplicações como painéis solares e vidro arquitetónico.A escolha do substrato depende da aplicação pretendida e das propriedades exigidas para o produto final.
- Aplicações e componentes do sistema:
- A evaporação por feixe de electrões é utilizada em várias indústrias para aplicações que exigem resistência a altas temperaturas, resistência ao desgaste e a produtos químicos ou propriedades ópticas específicas. O processo envolve vários componentes-chave:Câmara de vácuo:
- Essencial para manter um ambiente limpo e evitar a contaminação dos materiais evaporados.Fonte de feixe de electrões:
Normalmente um filamento feito de tungsténio, aquecido para libertar electrões que são depois focados num feixe por ímanes.
Cadinho: Contém o material de origem e pode ser feito de materiais como cobre, tungsténio ou cerâmica técnica, dependendo dos requisitos de temperatura do processo de evaporação.
O sistema foi concebido para lidar com a produção de lotes de grande volume, tornando-o eficiente para processos de fabrico em indústrias como a aeroespacial, automóvel e eletrónica.
Desvantagens:
