Conhecimento Qual é o princípio do revestimento por pulverização catódica? 5 etapas principais explicadas
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Equipe técnica · Kintek Solution

Atualizada há 2 meses

Qual é o princípio do revestimento por pulverização catódica? 5 etapas principais explicadas

O revestimento por pulverização catódica é um processo utilizado para depositar películas finas e uniformes de material num substrato.

Este processo é essencial para melhorar o desempenho das amostras na microscopia eletrónica de varrimento.

Ajuda a reduzir o carregamento, os danos térmicos e melhora a emissão de electrões secundários.

Qual é o princípio do revestimento por pulverização catódica? 5 etapas principais explicadas

Qual é o princípio do revestimento por pulverização catódica? 5 etapas principais explicadas

1. Configuração da câmara de vácuo

O substrato a revestir é colocado dentro de uma câmara de vácuo cheia de um gás inerte, normalmente árgon.

Este ambiente é necessário para evitar a contaminação e garantir a transferência eficiente dos átomos pulverizados para o substrato.

2. Carregamento elétrico

O material alvo, frequentemente ouro ou outros metais, é carregado eletricamente para atuar como cátodo.

Esta carga inicia uma descarga incandescente entre o cátodo e um ânodo, criando um plasma.

3. Ação de pulverização catódica

No plasma, os electrões livres do cátodo colidem com os átomos de árgon, ionizando-os e formando iões de árgon com carga positiva.

Estes iões são então acelerados em direção ao material alvo carregado negativamente devido ao campo elétrico.

Após o impacto, desalojam átomos do alvo, num processo conhecido como pulverização catódica.

4. Deposição

Os átomos pulverizados percorrem um caminho aleatório e omnidirecional e acabam por se depositar no substrato, formando uma película fina.

A utilização de ímanes na pulverização catódica por magnetrão ajuda a controlar a erosão do material alvo, assegurando um processo de deposição uniforme e estável.

5. Ligação a nível atómico

Os átomos de alta energia pulverizados ligam-se fortemente ao substrato a nível atómico.

Isto faz com que o revestimento seja uma parte permanente do substrato e não apenas uma camada superficial.

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