Os alvos de pulverização catódica são componentes essenciais no processo de criação de películas finas.
Estes alvos fornecem o material necessário para a deposição por pulverização catódica.
Este processo é vital na produção de semicondutores, chips de computador e outros componentes electrónicos.
Vamos decompor a função de um alvo de pulverização catódica em seis papéis-chave.
Qual é a função de um alvo de pulverização catódica? 6 funções principais explicadas
1. Fonte de material
O alvo de pulverização catódica é normalmente feito de elementos metálicos, ligas ou cerâmicas.
Por exemplo, os alvos de molibdénio são utilizados para criar películas finas condutoras em ecrãs ou células solares.
O material escolhido depende das propriedades desejadas da película fina, tais como a condutividade, a dureza ou as propriedades ópticas.
2. Ambiente de vácuo
O processo começa com a evacuação do ar da câmara de deposição para criar vácuo.
Isto assegura que o ambiente está livre de contaminantes que possam interferir com o processo de deposição.
A pressão de base na câmara é extremamente baixa, cerca de uma bilionésima parte da pressão atmosférica normal.
Este facto facilita a pulverização catódica eficiente do material alvo.
3. Introdução do gás inerte
Os gases inertes, normalmente árgon, são introduzidos na câmara.
Estes gases são ionizados para formar um plasma, que é essencial para o processo de pulverização catódica.
O ambiente de plasma é mantido a uma baixa pressão de gás, necessária para o transporte eficiente dos átomos pulverizados para o substrato.
4. Processo de pulverização catódica
Os iões do plasma colidem com o material alvo, arrancando (pulverizando) átomos do alvo.
A energia dos iões e a massa dos átomos do alvo determinam a taxa de pulverização catódica.
Este processo é cuidadosamente controlado para garantir uma taxa consistente de deposição de material.
Os átomos pulverizados formam uma nuvem de átomos da fonte na câmara.
5. Deposição de película fina
Os átomos pulverizados viajam através da câmara e depositam-se no substrato.
A baixa pressão e as caraterísticas do material pulverizado asseguram que a deposição é altamente uniforme.
Isto resulta numa película fina de espessura consistente.
Esta uniformidade é fundamental para o desempenho dos substratos revestidos, especialmente em aplicações electrónicas em que a espessura e a composição precisas são essenciais.
6. Repetibilidade e escalabilidade
A pulverização catódica é um processo repetível que pode ser utilizado para lotes médios a grandes de substratos.
Essa escalabilidade faz com que seja um método eficiente para aplicações industriais em que grandes quantidades de componentes precisam ser revestidos com filmes finos.
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