O efeito da taxa de deposição numa película fina é um aspeto crítico da produção de películas finas.
As películas produzidas a taxas de deposição mais elevadas exibem frequentemente protuberâncias ou colinas.
A densidade destas excrescências aumenta à medida que a taxa de deposição aumenta.
Além disso, o tamanho médio do grão da película aumenta com o aumento da taxa de deposição.
Por exemplo, para películas de alumínio em todos os substratos, o tamanho médio do grão aumenta de 20-30 nm para 50-70 nm com um aumento da taxa de deposição.
5 Principais conclusões sobre o efeito da taxa de deposição na película fina
1. Importância da taxa de deposição na seleção do equipamento
A taxa de deposição é um parâmetro importante a considerar aquando da utilização ou aquisição de equipamento de deposição.
É uma medida da velocidade de crescimento da película e é normalmente expressa em unidades de espessura divididas pelo tempo (por exemplo, A/s, nm/min, um/hora).
A escolha da velocidade de deposição depende da aplicação específica.
2. Taxas de deposição preferidas para diferentes espessuras de película
Para películas finas, é preferível uma velocidade de deposição relativamente lenta para garantir um controlo preciso da espessura da película.
Por outro lado, para películas espessas, é desejável uma taxa de deposição mais rápida.
No entanto, existem compromissos entre as propriedades da película e as condições do processo.
3. Impacto das taxas de deposição mais rápidas nas caraterísticas da película
Os processos de taxas de deposição mais rápidas requerem frequentemente potências, temperaturas ou fluxos de gás mais elevados.
Estes podem afetar outras caraterísticas da película, como a uniformidade, a tensão ou a densidade.
4. Importância da uniformidade da deposição
A uniformidade da deposição é outro fator a considerar.
A uniformidade de deposição refere-se à consistência da espessura da película ao longo do substrato.
Pode também referir-se a outras propriedades da película, como o índice de refração.
A uniformidade é normalmente medida através da recolha de dados ao longo de uma bolacha e do cálculo da média e do desvio padrão.
É importante excluir da análise metrológica as áreas com efeitos de aperto ou de extremidade.
5. Escolher a taxa de deposição correta para as propriedades desejadas da película
Em conclusão, a taxa de deposição afecta a morfologia e o tamanho do grão das películas finas.
É importante escolher uma taxa de deposição adequada às propriedades desejadas da película e à aplicação.
Além disso, factores como a uniformidade devem ser considerados para garantir uma qualidade consistente da película.
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