O efeito da taxa de deposição na película fina é que as películas produzidas a taxas de deposição mais elevadas apresentam protuberâncias ou colinas, com a densidade destas protuberâncias a aumentar à medida que a taxa de deposição aumenta. Além disso, o tamanho médio do grão da película aumenta com o aumento da taxa de deposição. Por exemplo, para películas de alumínio em todos os substratos, o tamanho médio do grão aumenta de 20-30 nm para 50-70 nm com um aumento da taxa de deposição.
A taxa de deposição é um parâmetro importante a considerar quando se utiliza ou adquire equipamento de deposição. É uma medida da rapidez de crescimento da película e é normalmente expressa em unidades de espessura divididas pelo tempo (por exemplo, A/s, nm/min, um/hora). A escolha da velocidade de deposição depende da aplicação específica. Para películas finas, é preferível uma velocidade de deposição relativamente lenta para garantir um controlo preciso da espessura da película. Por outro lado, para películas espessas, é desejável uma taxa de deposição mais rápida. No entanto, existem compromissos entre as propriedades da película e as condições do processo. Os processos com taxas de deposição mais rápidas requerem frequentemente potências, temperaturas ou fluxos de gás mais elevados, o que pode afetar outras características da película, como a uniformidade, a tensão ou a densidade.
A uniformidade da deposição é outro fator a considerar. A uniformidade da deposição refere-se à consistência da espessura da película ao longo do substrato. Pode também referir-se a outras propriedades da película, como o índice de refração. A uniformidade é normalmente medida através da recolha de dados ao longo de uma bolacha e do cálculo da média e do desvio padrão. É importante excluir da análise metrológica as áreas com efeitos de fixação ou de borda.
Em conclusão, a taxa de deposição afecta a morfologia e o tamanho do grão das películas finas. É importante escolher uma taxa de deposição adequada às propriedades da película e à aplicação pretendidas. Além disso, factores como a uniformidade devem ser considerados para garantir uma qualidade de película consistente.
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