A pulverização catódica e a evaporação por feixe de electrões são ambos métodos utilizados na deposição física de vapor (PVD) para criar películas finas.
No entanto, estas duas técnicas têm processos e caraterísticas diferentes.
5 Pontos-chave a considerar
1. Processo de deposição
A pulverização catódica envolve a utilização de átomos de plasma energizados, normalmente árgon, para atingir um material de origem carregado negativamente.
Esses átomos energizados fazem com que os átomos do material de origem se quebrem e se fixem num substrato, formando uma película fina.
A pulverização catódica ocorre dentro de um campo magnético fechado e é efectuada no vácuo.
Por outro lado, a evaporação por feixe de electrões utiliza um feixe de electrões para incidir sobre um material de origem, produzindo temperaturas muito elevadas que vaporizam o material.
Este processo também ocorre dentro de uma câmara de vácuo ou de deposição.
2. Temperatura
A pulverização catódica é realizada a uma temperatura mais baixa do que a evaporação por feixe de electrões.
3. Taxa de deposição
A evaporação por feixe de electrões tem normalmente uma taxa de deposição mais elevada do que a pulverização catódica, especialmente para dieléctricos.
4. Cobertura do revestimento
A pulverização catódica proporciona uma melhor cobertura de revestimento para substratos complexos.
5. Aplicações
A evaporação por feixe de electrões é mais frequentemente utilizada para a produção de lotes de grande volume e para revestimentos ópticos de película fina.
A pulverização catódica é usada em aplicações que exigem altos níveis de automação.
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