O revestimento por pulverização catódica é um processo de deposição física de vapor que aplica um revestimento fino e funcional num substrato, aumentando a sua durabilidade e uniformidade. Este processo envolve o carregamento elétrico de um cátodo de pulverização catódica para formar um plasma, que ejecta material da superfície alvo. O material alvo, ligado ao cátodo, é corroído uniformemente por ímanes, e as partículas de alta energia incidem sobre o substrato, ligando-se a um nível atómico. Isto resulta numa integração permanente do material no substrato, em vez de um revestimento de superfície.
Explicação pormenorizada:
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Mecânica do processo: O processo de revestimento por pulverização catódica começa com o carregamento elétrico de um cátodo de pulverização catódica, que inicia a formação de um plasma. Este plasma faz com que o material seja ejectado da superfície do alvo. O material alvo é fixado firmemente ao cátodo e são utilizados ímanes estrategicamente para garantir que a erosão do material é estável e uniforme.
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Interação molecular: A nível molecular, o material alvo ejectado é dirigido para o substrato através de um processo de transferência de momento. As partículas de alta energia do alvo embatem no substrato, conduzindo o material para a sua superfície. Esta interação forma uma forte ligação a nível atómico, integrando efetivamente o material de revestimento no substrato.
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Vantagens e aplicações: A principal vantagem do revestimento por pulverização catódica é a criação de um plasma estável, que assegura uma deposição uniforme do revestimento. Esta uniformidade torna o revestimento consistente e durável. O revestimento por pulverização catódica é amplamente utilizado em várias indústrias, incluindo painéis solares, vidro arquitetónico, microeletrónica, aeroespacial, ecrãs planos e automóvel.
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Tipos de Sputtering: A pulverização catódica é um processo versátil com vários subtipos, incluindo corrente contínua (CC), radiofrequência (RF), média frequência (MF), CC pulsada e HiPIMS. Cada tipo tem aplicações específicas, dependendo dos requisitos do revestimento e do substrato.
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Aplicações SEM: Na microscopia eletrónica de varrimento (SEM), o revestimento por pulverização catódica consiste em aplicar um revestimento metálico ultrafino e condutor de eletricidade a amostras não condutoras ou pouco condutoras. Este revestimento impede a acumulação de campos eléctricos estáticos e melhora a deteção de electrões secundários, melhorando a relação sinal/ruído. Os metais mais comuns utilizados para este fim incluem o ouro, ouro/paládio, platina, prata, crómio e irídio, com uma espessura de película que varia normalmente entre 2 e 20 nm.
Em resumo, o revestimento por pulverização catódica é uma tecnologia essencial para depositar revestimentos finos, duradouros e uniformes em vários substratos, melhorando a sua funcionalidade em várias indústrias e aplicações, incluindo a preparação de amostras SEM.
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