As fontes de evaporação térmica são essenciais para a deposição de vários materiais.
Estas fontes incluem principalmente barcos, cestos, filamentos e varetas revestidas.
São normalmente feitas de materiais como tungsténio, tântalo ou molibdénio.
Os métodos de aquecimento para estas fontes são a evaporação de filamentos ou a evaporação por feixe de electrões (E-Beam).
5 tipos principais explicados
1. Barcos
Os barcos são um tipo comum de fonte de evaporação térmica.
Existem em vários tamanhos.
As embarcações maiores geralmente requerem maior potência para a mesma taxa de deposição.
No entanto, podem suportar taxas de deposição máximas mais elevadas.
2. Evaporação de filamentos
A evaporação de filamentos envolve a utilização de um simples elemento de aquecimento elétrico.
Este método é simples e baseia-se na resistência do filamento para gerar calor.
3. Evaporação por feixe de electrões
A evaporação por feixe de electrões utiliza um feixe de electrões para aquecer diretamente o material de origem.
Este método é particularmente útil para materiais que são refractários ou que requerem temperaturas mais elevadas para evaporar.
4. Sistemas de evaporação de película fina
Os sistemas de evaporação de película fina oferecem vantagens como elevadas taxas de deposição.
Também permitem um controlo em tempo real da taxa e da espessura.
Um bom controlo direcional do fluxo de evaporação é benéfico para processos como o Lift Off para obter revestimentos com padrão direto.
5. Materiais de evaporação térmica
Os materiais de evaporação térmica incluem várias substâncias, como ouro, prata, titânio, dióxido de silício, tungsténio e cobre.
Estes materiais podem sublimar ou evaporar a temperaturas próximas dos seus pontos de fusão, dependendo da sua pressão de vapor.
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