As fontes de evaporação térmica incluem principalmente barcos, cestos, filamentos e varetas revestidas, normalmente feitas de materiais como tungsténio, tântalo ou molibdénio. Os métodos de aquecimento para estas fontes são a evaporação por filamento, utilizando elementos de aquecimento eléctricos, ou a evaporação por feixe de electrões (E-Beam), em que um feixe de electrões aquece o material de origem.
Barcos são um tipo comum de fonte de evaporação térmica e existem em vários tamanhos. Os barcos maiores requerem geralmente uma maior potência para a mesma taxa de deposição, mas podem suportar taxas de deposição máximas mais elevadas.
Evaporação de filamentos envolve a utilização de um simples elemento de aquecimento elétrico, ou filamento, para aquecer o material de origem. Este método é simples e baseia-se na resistência do filamento para gerar calor.
Evaporação por feixe de electrões utiliza um feixe de electrões para aquecer diretamente o material de origem, provocando a sua evaporação. Este método é particularmente útil para materiais que são refractários ou que requerem temperaturas mais elevadas para evaporar.
Os sistemas de evaporação de película fina oferecem vantagens como taxas de deposição elevadas, controlo da taxa e da espessura em tempo real e um bom controlo direcional do fluxo de evaporação, o que é benéfico para processos como o Lift Off para obter revestimentos com padrão direto.
Materiais de evaporação térmica incluem várias substâncias como ouro, prata, titânio, dióxido de silício, tungsténio e cobre. Estes materiais podem sublimar ou evaporar a temperaturas próximas dos seus pontos de fusão, dependendo da sua pressão de vapor.
O desenvolvimento da tecnologia de evaporação térmica evoluiu significativamente desde a sua utilização inicial em 1912, com avanços como a introdução da evaporação por feixe eletrónico e a evaporação em plasmas, que expandiu a técnica para a evaporação reactiva.
Em resumo, as fontes de evaporação térmica são cruciais para a deposição de vários materiais e são aquecidas por filamentos eléctricos ou feixes de electrões. Estas fontes são feitas de materiais de alta temperatura e são concebidas para suportar o calor gerado durante o processo de evaporação. A escolha da fonte e do método de aquecimento depende dos requisitos específicos do material que está a ser evaporado e das características de deposição pretendidas.
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