O revestimento por pulverização catódica para SEM envolve normalmente a aplicação de uma camada metálica ultrafina e condutora de eletricidade com uma espessura de 2-20 nm. Este revestimento é crucial para espécimes não condutores ou pouco condutores para evitar o carregamento e melhorar a relação sinal-ruído na imagem SEM.
Explicação pormenorizada:
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Objetivo do revestimento por pulverização catódica:
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O revestimento por pulverização catódica é utilizado principalmente para aplicar uma camada fina de metal condutor em amostras não condutoras ou pouco condutoras. Esta camada ajuda a prevenir a acumulação de campos eléctricos estáticos, que podem interferir com o processo de imagem no SEM. Ao fazê-lo, também aumenta a emissão de electrões secundários da superfície da amostra, melhorando assim a relação sinal/ruído e a qualidade geral das imagens SEM.Espessura típica:
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A espessura das películas pulverizadas varia normalmente entre 2 e 20 nm. Esta gama é escolhida para assegurar que o revestimento é suficientemente fino para não obscurecer os detalhes finos da amostra, mas suficientemente espesso para proporcionar uma condutividade eléctrica eficaz e evitar o carregamento. Para SEM de menor ampliação, os revestimentos de 10-20 nm são geralmente suficientes e não afectam significativamente a imagem. No entanto, para MEV de maior ampliação, especialmente aqueles com resoluções inferiores a 5 nm, são preferíveis revestimentos mais finos (tão baixos como 1 nm) para evitar obscurecer os detalhes da amostra.
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Materiais utilizados:
Os metais comuns utilizados para o revestimento por pulverização catódica incluem o ouro (Au), ouro/paládio (Au/Pd), platina (Pt), prata (Ag), crómio (Cr) e irídio (Ir). Estes materiais são escolhidos pela sua condutividade e capacidade de melhorar as condições de imagem no SEM. Em alguns casos, um revestimento de carbono pode ser preferido, especialmente para aplicações como espetroscopia de raios X e difração de retrodispersão de elétrons (EBSD), onde é crucial evitar a mistura de informações do revestimento e da amostra.
Benefícios do revestimento por pulverização catódica:
