O revestimento por pulverização catódica para SEM envolve normalmente a aplicação de uma camada metálica ultrafina e condutora de eletricidade com uma espessura de 2-20 nm.
Este revestimento é crucial para amostras não condutoras ou pouco condutoras para evitar o carregamento e melhorar a relação sinal/ruído na imagem SEM.
4 Pontos-chave explicados
1. Objetivo do revestimento por pulverização catódica
O revestimento por pulverização catódica é utilizado principalmente para aplicar uma camada fina de metal condutor em amostras não condutoras ou pouco condutoras.
Esta camada ajuda a evitar a acumulação de campos eléctricos estáticos, que podem interferir com o processo de obtenção de imagens no SEM.
Ao fazê-lo, também aumenta a emissão de electrões secundários da superfície da amostra, melhorando assim a relação sinal/ruído e a qualidade geral das imagens SEM.
2. Espessura típica
A espessura das películas pulverizadas varia normalmente entre 2 e 20 nm.
Esta gama é escolhida para assegurar que o revestimento é suficientemente fino para não obscurecer os detalhes finos da amostra, mas suficientemente espesso para proporcionar uma condutividade eléctrica eficaz e evitar o carregamento.
Para SEM de menor ampliação, os revestimentos de 10-20 nm são geralmente suficientes e não afectam significativamente a imagem.
No entanto, para MEV de maior ampliação, especialmente os que têm resoluções inferiores a 5 nm, são preferíveis revestimentos mais finos (tão baixos como 1 nm) para evitar obscurecer os pormenores da amostra.
3. Materiais utilizados
Os metais comuns utilizados para o revestimento por pulverização catódica incluem o ouro (Au), o ouro/paládio (Au/Pd), a platina (Pt), a prata (Ag), o crómio (Cr) e o irídio (Ir).
Estes materiais são escolhidos pela sua condutividade e capacidade de melhorar as condições de imagem no SEM.
Em alguns casos, pode ser preferível um revestimento de carbono, especialmente para aplicações como a espetroscopia de raios X e a difração por retrodifusão de electrões (EBSD), em que é crucial evitar a mistura de informações do revestimento e da amostra.
4. Vantagens do revestimento por pulverização catódica
As vantagens do revestimento por pulverização catódica para amostras de SEM incluem a redução dos danos provocados pelo feixe, o aumento da condução térmica, a redução do carregamento da amostra, a melhoria da emissão de electrões secundários, a redução da penetração do feixe com uma melhor resolução dos bordos e a proteção de amostras sensíveis ao feixe.
Estes benefícios melhoram coletivamente a qualidade e a precisão da imagem SEM, tornando-a um passo crítico na preparação de certos tipos de amostras para análise SEM.
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