A espessura das películas depositadas pode ser medida utilizando vários métodos, cada um com o seu próprio conjunto de requisitos e aplicações. Os principais métodos incluem a perfilometria, a interferometria, a microscopia eletrónica de transmissão (TEM) e a espetrofotometria, cada um deles adequado a diferentes espessuras de película e propriedades do material.
Profilometria e Interferometria:
A perfilometria e a interferometria são métodos mecânicos que requerem uma ranhura ou degrau entre a película e o substrato. Estas ranhuras são criadas quer mascarando partes do substrato, quer removendo seletivamente partes da película depositada. Na perfilometria com caneta, uma caneta traça fisicamente o perfil da superfície, medindo a diferença de altura entre a película e o substrato. A interferometria, por outro lado, utiliza a interferência de ondas de luz para medir a espessura. Este método requer uma superfície altamente reflectora para gerar franjas de interferência, que são depois analisadas para determinar a espessura da película. Ambos os métodos medem a espessura em pontos específicos, tornando a uniformidade da película um fator crítico para a precisão.Microscopia Eletrónica de Transmissão (TEM):
A TEM é utilizada para analisar películas finas, particularmente na gama de alguns nanómetros a 100 nm. Este método envolve a utilização de um feixe de iões focalizado (FIB) para preparar amostras com espessuras adequadas. O TEM fornece imagens de alta resolução, permitindo uma análise pormenorizada da estrutura e espessura da película. É particularmente útil para materiais condutores e semicondutores.
Espectrofotometria:
A espetrofotometria é utilizada para medir espessuras de película entre 0,3 e 60 µm. Este método utiliza o princípio da interferência, em que a interferência das ondas de luz é afetada pela espessura e pelo índice de refração da película. Analisando os padrões de interferência, a espessura da película pode ser determinada. Este método é eficaz para películas transparentes e requer o conhecimento do índice de refração da película.
Seleção da técnica de medição:
