A Deposição Física em Vapor (PVD) é um processo de revestimento baseado no vácuo que utiliza métodos físicos para depositar películas finas num substrato. O processo envolve a conversão de um material precursor sólido em vapor, o transporte deste vapor para um substrato e, em seguida, a sua condensação para formar uma película fina. O PVD é conhecido por produzir revestimentos duros e resistentes à corrosão com tolerância a altas temperaturas e resistência superior à ablação.
Explicação pormenorizada:
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Vaporização do material:
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O primeiro passo na PVD envolve a vaporização do material precursor sólido. Isto é normalmente conseguido através de vários métodos, tais como eletricidade de alta potência, impulsos de laser, descarga de arco ou bombardeamento de iões/electrões. A escolha do método depende da técnica de PVD específica que está a ser utilizada, como a pulverização catódica ou a evaporação térmica.Transporte de vapor:
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Uma vez vaporizado o material, este é transportado através de uma região de baixa pressão (normalmente numa câmara de vácuo) desde a sua fonte até ao substrato. Este transporte garante que os átomos ou moléculas vaporizados permaneçam não contaminados e possam atingir o substrato de forma eficiente.
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Deposição no substrato:
- O material vaporizado condensa-se então na superfície do substrato, formando uma película fina. Este processo de deposição é crítico, pois determina a qualidade e as propriedades do revestimento final. O substrato pode ser feito de vários materiais, incluindo metais, cerâmicas ou polímeros, dependendo da aplicação.
- Tipos de PVD:Evaporação:
- Neste método, o material é aquecido até à sua fase gasosa e depois é permitido que se difunda através de um vácuo até ao substrato.Sputtering:
Este método envolve a geração de um plasma que contém iões de árgon e electrões. O material alvo é ejectado por iões de árgon e depois viaja através do plasma para formar uma camada no substrato.
Epitaxia por feixe molecular (MBE):
Esta técnica envolve a limpeza e o aquecimento do substrato para remover contaminantes e tornar a sua superfície rugosa. Uma pequena quantidade de material de origem é então emitida através de um obturador e acumula-se no substrato.