O gás árgon é amplamente utilizado na pulverização catódica devido às suas propriedades únicas que o tornam ideal para este processo.
Porque é que o gás árgon é utilizado na pulverização catódica? 5 razões principais explicadas
1. Alta taxa de pulverização
O árgon tem uma elevada taxa de pulverização catódica. Isto significa que transfere eficazmente a energia para o material alvo, fazendo com que os átomos sejam ejectados.
Esta eficiência é crucial para que o processo de deposição seja eficaz e eficiente em termos de tempo.
A elevada massa dos iões de árgon contribui para a sua capacidade de transmitir uma energia significativa aquando do impacto com o material alvo, conduzindo a uma pulverização eficiente.
2. Natureza inerte
O árgon é quimicamente inerte. Isto significa que não reage com a maioria dos materiais.
Esta caraterística é vital na pulverização catódica porque assegura que o material alvo e a película depositada não são quimicamente alterados ou contaminados durante o processo.
A inércia do árgon ajuda a manter a integridade das propriedades da película fina, tais como a sua condutividade eléctrica e estabilidade estrutural.
3. Baixo preço e disponibilidade
O árgon é relativamente barato e está amplamente disponível com um elevado grau de pureza.
Este facto torna-o uma escolha rentável para aplicações industriais e de investigação.
A acessibilidade do árgon em várias purezas permite a sua utilização numa vasta gama de processos de pulverização catódica, desde aplicações básicas a aplicações altamente especializadas.
4. Formação de iões Ar+
Na presença de um campo magnético, os electrões concentram-se, aumentando a densidade eletrónica.
Esta densidade mais elevada aumenta a probabilidade de colisões entre os electrões e os átomos de árgon, levando à formação de iões de árgon com carga positiva (Ar+).
Estes iões são então atraídos para o alvo carregado negativamente, onde incidem a altas velocidades, provocando a pulverização catódica.
5. Versatilidade
O árgon pode ser utilizado em vários tipos de pulverização catódica, incluindo descargas DC (corrente contínua), RF (radiofrequência) e AC (corrente alternada).
Esta versatilidade faz do árgon a escolha preferida para muitas configurações e aplicações diferentes.
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