Um revestimento de plasma é um processo utilizado para aplicar camadas finas de materiais num substrato para melhorar ou modificar as suas propriedades. Esta técnica pode criar revestimentos com várias características, tais como hidrofílicos, hidrofóbicos, antirreflexo, isolantes, condutores e resistentes ao desgaste. A escolha entre a deposição física de vapor (PVD) e a deposição química de vapor enriquecida com plasma (PECVD) depende da natureza do substrato e do tipo de revestimento pretendido.
Deposição de vapor químico enriquecida por plasma (PECVD):
A PECVD envolve a utilização de plasma para melhorar as reacções químicas necessárias para a deposição de películas finas. Este método é versátil e pode produzir revestimentos com propriedades específicas, ajustando o meio de tratamento. Por exemplo, pode criar revestimentos de carbono tipo diamante (DLC), que são amigos do ambiente e proporcionam uma superfície dura, tipo diamante. O processo envolve a utilização de hidrocarbonetos (uma combinação de hidrogénio e carbono) que, quando introduzidos no plasma, se dissociam e depois se recombinam na superfície para formar uma camada dura.Revestimento iónico:
A galvanização iónica é uma técnica baseada em plasma utilizada para depositar metais como o titânio, o alumínio, o cobre, o ouro e o paládio. Os revestimentos são finos, variando normalmente entre 0,008 e 0,025 mm, e oferecem vantagens como uma melhor adesão, acabamento da superfície e limpeza in-situ do substrato antes da deposição. No entanto, exige um controlo preciso dos parâmetros de processamento e pode levar a potenciais problemas de contaminação. As aplicações incluem tubos de raios X, lâminas de turbinas e proteção contra a corrosão em reactores nucleares.
Implantação de iões e deposição de plasma: