Para evaporar o metal, existem dois métodos habitualmente utilizados: a evaporação por feixe de electrões e a evaporação térmica.
1. Evaporação por feixe de electrões: Este método utiliza um feixe de electrões focalizado para aquecer e evaporar metais. A temperatura dos electrões é normalmente de cerca de 3000 °C, e uma fonte de corrente contínua de alta tensão acelera-os em direção ao material alvo. O feixe de electrões é dirigido a um ponto específico da superfície do metal, provocando um rápido aquecimento e vaporização. Este processo é particularmente útil para metais com pontos de fusão elevados, como o tungsténio e o tântalo. A evaporação por feixe de electrões resulta numa contaminação mínima do cadinho.
2. Evaporação térmica: Neste método, é utilizado um evaporador de metal para evaporar vários metais num substrato ou película. O evaporador de metais é normalmente constituído por um cadinho e uma fonte de calor. O metal é colocado no cadinho, que é então aquecido a altas temperaturas. Quando o metal atinge o seu ponto de fusão, transforma-se num líquido e acaba por se evaporar num vapor. Este vapor condensa-se nas superfícies dentro da câmara, revestindo-as com uma fina camada do metal. A evaporação térmica pode ser realizada utilizando uma máscara para revestir seletivamente padrões específicos numa amostra. Podem ser utilizados para a evaporação diferentes metais, como alumínio, ouro, crómio, germânio, níquel, óxido de silício e titânio.
Ambos os métodos requerem um ambiente de alto vácuo para minimizar as colisões de gases e as reacções indesejadas durante o processo de deposição. O evaporador de metal deve ser operado em condições controladas e devem ser seguidos os protocolos de segurança adequados. É crucial receber autorização e formação de um indivíduo qualificado, como o Dr. Knobel do departamento de Física, antes de utilizar o evaporador de metal.
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