Os alvos de pulverização catódica são componentes essenciais em várias indústrias, incluindo a microeletrónica, as células solares e a optoelectrónica.
O fabrico destes alvos envolve uma série de processos precisos concebidos para garantir um elevado desempenho e fiabilidade.
Aqui está uma visão detalhada de como os alvos de pulverização são feitos, divididos em cinco etapas principais.
5 etapas principais para a produção de alvos de pulverização de alta qualidade
1. Seleção e preparação do material
O processo de fabricação começa com a seleção das matérias-primas corretas.
Estes materiais são frequentemente metais, ligas ou compostos como óxidos, nitretos e carbonetos.
A pureza e a qualidade desses materiais são cruciais, pois afetam diretamente o desempenho do alvo de pulverização catódica.
2. Mistura e liga
As matérias-primas são misturadas ou ligadas para criar materiais homogéneos.
Este processo assegura resultados de pulverização consistentes.
A mistura pode ser efectuada por meios mecânicos, enquanto a liga envolve frequentemente a fusão dos materiais em condições controladas.
3. Sinterização e fusão
Após a mistura ou a liga, os materiais são submetidos a processos de sinterização ou fusão.
A sinterização envolve o aquecimento do material abaixo do seu ponto de fusão para unir as partículas.
A fusão liquefaz completamente o material para fundição.
Estes processos são normalmente efectuados no vácuo ou em atmosferas controladas para evitar a contaminação e garantir um elevado grau de pureza.
4. Conformação e moldagem
O material sinterizado ou fundido é então moldado na forma desejada, normalmente um disco ou uma folha.
Isto pode ser conseguido através de métodos como a prensagem a quente, a prensagem a frio, a laminagem ou o forjamento.
A escolha do método depende das propriedades do material e das especificações do objetivo.
5. Retificação e acabamento
Uma vez formada a forma básica, o alvo é submetido a processos de retificação e acabamento.
Esta etapa assegura que o alvo cumpre as dimensões e o acabamento superficial exigidos.
As imperfeições da superfície podem afetar a uniformidade e a qualidade da película depositada, pelo que este passo é crucial.
6. Controlo e análise da qualidade
Cada lote de alvos de pulverização catódica é submetido a vários testes analíticos para garantir a conformidade com as normas de qualidade.
Estes testes podem incluir medições de densidade, pureza e microestrutura.
Um certificado de análise é fornecido com cada remessa, detalhando as propriedades e a qualidade do alvo.
7. Embalagem e expedição
Finalmente, os alvos de pulverização catódica são cuidadosamente embalados para evitar danos durante o transporte e o armazenamento.
Em seguida, são enviados para os clientes, prontos para serem utilizados no processo de pulverização catódica.
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