Os alvos de pulverização catódica são fabricados utilizando vários processos adaptados às propriedades do material e à aplicação pretendida. Os métodos comuns incluem prensagem a quente a vácuo, prensagem a frio e sinterização, e fusão e fundição a vácuo. O processo inicia-se com a seleção e preparação das matérias-primas, seguindo-se a mistura ou liga através de sinterização ou fusão, e depois a moagem para obter a qualidade desejada. Cada lote de produção é submetido a rigorosos testes analíticos e cada remessa é acompanhada de um certificado de análise.
Explicação pormenorizada:
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Seleção e preparação de materiais:
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O processo de fabrico começa com a seleção de matérias-primas adequadas com base nas propriedades desejadas do alvo de pulverização catódica. Estes materiais são frequentemente metais, ligas ou compostos como óxidos, nitretos e carbonetos. A pureza e a qualidade destas matérias-primas são cruciais, uma vez que têm um impacto direto no desempenho do alvo de pulverização catódica.Mistura e liga:
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Dependendo dos requisitos, as matérias-primas podem ser misturadas ou ligadas. Este processo é fundamental para criar materiais homogéneos que garantam resultados de pulverização consistentes. A mistura pode ser efectuada através de meios mecânicos, enquanto a liga envolve frequentemente a fusão dos materiais em condições controladas.
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Sinterização e fusão:
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Após a mistura ou liga, os materiais são submetidos a processos de sinterização ou fusão. A sinterização envolve o aquecimento do material abaixo do seu ponto de fusão para unir as partículas, enquanto a fusão liquefaz completamente o material para fundição. Estes processos são normalmente efectuados em vácuo ou em atmosferas controladas para evitar a contaminação e garantir uma elevada pureza.Conformação e modelação:
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O material sinterizado ou fundido é então moldado na forma desejada, que é normalmente um disco ou uma folha. Isto pode ser conseguido através de vários métodos, como a prensagem a quente, a prensagem a frio, a laminagem ou o forjamento. A escolha do método depende das propriedades do material e das especificações do objetivo.
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Retificação e acabamento:
Uma vez formada a forma básica, o alvo é submetido a processos de retificação e acabamento para obter as dimensões e o acabamento superficial necessários. Este passo é crucial para garantir que o alvo terá um bom desempenho no processo de pulverização catódica, uma vez que as imperfeições da superfície podem afetar a uniformidade e a qualidade da película depositada.
Controlo de qualidade e análise:
