A espessura de uma película é normalmente medida utilizando várias técnicas.
Os métodos mais comuns são as técnicas mecânicas, como a perfilometria e a interferometria.
Estes métodos baseiam-se no princípio da interferência para medir a espessura.
Isto envolve a análise da luz reflectida a partir das interfaces superior e inferior da película.
A espessura é crucial, uma vez que influencia as propriedades eléctricas, ópticas, mecânicas e térmicas da película.
Varia de alguns nanómetros a microns.
Explicação de 4 métodos principais
1. Profilometria de estilete
A perfilometria com caneta envolve o varrimento físico de uma caneta pela superfície da película para medir as diferenças de altura.
Estas diferenças de altura correspondem à espessura.
É necessário um sulco ou degrau entre a película e o substrato.
Este pode ser criado através de uma máscara ou da remoção de partes da película ou do substrato.
2. Interferometria
A interferometria utiliza os padrões de interferência criados pelas ondas de luz reflectidas pelas superfícies superior e inferior da película.
É necessária uma superfície altamente reflectora para observar claramente as franjas de interferência.
A espessura é determinada através da análise destas franjas.
Estas franjas são afectadas pela diferença de percurso ótico entre os dois feixes reflectidos.
3. Seleção da técnica de medição
A escolha da técnica de medição depende de factores como a transparência do material.
Depende também da informação adicional necessária, como o índice de refração, a rugosidade da superfície, etc.
Por exemplo, se a película for transparente e tiver uma espessura entre 0,3 e 60 µm, pode utilizar-se eficazmente um espetrofotómetro.
4. Importância da espessura
A espessura das películas finas é fundamental, pois tem um impacto direto nas suas propriedades.
Nos nanomateriais, em que a espessura pode ser tão pequena como alguns átomos, uma medição precisa é essencial para garantir a funcionalidade e o desempenho desejados.
As indústrias utilizam estas medições para otimizar a conceção e a funcionalidade dos produtos.
Tornando a medição exacta da espessura um aspeto vital dos processos de fabrico.
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