A deposição por pulverização catódica é uma técnica de deposição física de vapor (PVD).
Envolve o bombardeamento de um material alvo com iões de um plasma, normalmente árgon.
Isto faz com que os átomos do alvo sejam ejectados e depositados como uma película fina sobre um substrato.
Este processo é amplamente utilizado pela sua capacidade de criar revestimentos fortes, finos e uniformes em vários substratos.
O que é o processo de deposição por pulverização catódica? 5 etapas principais explicadas
1. Início do processo
O processo de deposição por pulverização catódica começa com a criação de um ambiente de plasma.
Normalmente, isto é feito através da introdução de um gás, como o árgon, numa câmara de vácuo.
De seguida, ioniza-se o gás utilizando uma alta tensão.
O processo de ionização separa o gás num plasma constituído por iões de carga positiva e electrões de carga negativa.
2. Bombardeamento do alvo
Os iões de árgon carregados positivamente no plasma são acelerados em direção a um material alvo carregado negativamente devido ao campo elétrico.
O material alvo, que é a fonte do material a depositar, é ligado ou fixado a um cátodo.
Os ímanes são frequentemente utilizados para aumentar a uniformidade e a estabilidade do processo de erosão na superfície do alvo.
3. Ejeção e deposição de material
Quando os iões de árgon colidem com o alvo, transferem o seu momento para os átomos do alvo.
Isto faz com que alguns deles sejam ejectados da superfície do alvo.
Estes átomos ejectados formam uma nuvem de vapor.
Os átomos desta nuvem de vapor viajam então através do vácuo e condensam-se num substrato, formando uma película fina.
Este processo de deposição resulta numa forte ligação a nível atómico entre o material depositado e o substrato, aumentando a durabilidade e a funcionalidade do revestimento.
4. Vantagens e aplicações
Uma das principais vantagens da deposição por pulverização catódica é o facto de poder depositar materiais com elevados pontos de fusão sem os fundir efetivamente.
Esta é uma limitação de algumas outras técnicas de deposição.
Além disso, a energia cinética dos átomos ejectados é mais elevada do que noutros métodos, como a evaporação térmica, o que conduz a uma melhor adesão da película ao substrato.
A deposição por pulverização catódica é versátil e pode ser utilizada para depositar uma vasta gama de materiais, o que a torna adequada para várias aplicações em eletrónica, ótica e engenharia de superfícies.
5. Evolução tecnológica
A técnica evoluiu significativamente desde as suas primeiras observações no século XIX.
As melhorias na tecnologia de vácuo e a introdução de técnicas como a pulverização catódica por magnetrões e a pulverização por radiofrequência expandiram as suas capacidades e eficiência.
Atualmente, a deposição por pulverização catódica com magnetrões é um dos métodos mais utilizados para a deposição de películas finas e tratamentos de engenharia de superfícies.
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