Que tipo de fonte de alimentação e pressão de câmara são usadas na pulverização DC? Parâmetros Mestres de Deposição

A pulverização DC baseia-se fundamentalmente numa fonte de alimentação de Corrente Contínua (DC). Para facilitar o processo, a pressão da câmara de vácuo é estritamente mantida numa faixa de 1 a 100 mTorr.

A pulverização DC é definida pelo uso de uma fonte de alimentação de Corrente Contínua e uma janela de pressão operacional específica de 1 a 100 mTorr, diferenciando-a dos métodos de corrente alternada de alta frequência.

Os Parâmetros Operacionais Principais

A Fonte de Alimentação

A principal característica da pulverização DC é a sua fonte de alimentação. Como o nome indica, utiliza Corrente Contínua (DC).

Esta configuração fornece um fluxo contínuo de carga elétrica numa direção. Contrasta diretamente com outros métodos de pulverização que dependem de correntes alternadas ou oscilantes.

Requisitos de Pressão da Câmara

O ambiente dentro da câmara de pulverização é tão crítico quanto a fonte de alimentação.

Para a pulverização DC, o sistema requer um ambiente de vácuo controlado. A pressão operacional típica para este processo situa-se entre 1 e 100 mTorr.

Comparando Configurações de Alimentação

Fontes de Alimentação DC vs. RF

É útil entender o que a pulverização DC não é para compreender totalmente a sua configuração.

Enquanto a pulverização DC usa uma fonte de corrente contínua, a pulverização RF utiliza uma fonte de alimentação de Corrente Alternada (AC).

Diferenças de Frequência

Em configurações de RF, a fonte de alimentação é frequentemente uma fonte de Radiofrequência de alta tensão.

Esta fonte é frequentemente fixada numa frequência específica de 13,56 MHz, enquanto a pulverização DC não depende desta oscilação de alta frequência.

Resumo dos Requisitos de Pulverização

Se a sua aplicação específica requer pulverização DC:

• Certifique-se de que a sua fonte de alimentação está configurada para saída de Corrente Contínua (DC).
• Mantenha a pressão da sua câmara de vácuo estritamente entre 1 e 100 mTorr.

Se estiver a encontrar especificações de Pulverização RF:

• Note que este processo requer uma fonte de Corrente Alternada (AC), tipicamente a 13,56 MHz.

Selecionar a fonte de alimentação correta e a faixa de pressão é o passo fundamental para estabelecer um sistema de deposição por pulverização funcional.

Tabela Resumo:

Característica	Pulverização DC	Pulverização RF
Fonte de Alimentação	Corrente Contínua (DC)	Corrente Alternada (AC)
Pressão Operacional	1 - 100 mTorr	Frequentemente Inferior à DC
Frequência	N/A (Contínua)	Tipicamente 13,56 MHz
Uso Comum	Alvos Condutores	Alvos Isolantes e Condutores

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