A energia dos átomos pulverizados varia normalmente entre dezenas e centenas de electrões-volt, com uma energia cinética média de cerca de 600 eV. Esta energia é transmitida aos átomos quando estes são ejectados de um material alvo devido ao impacto de iões de alta energia. O processo de pulverização catódica envolve a transferência de momento dos iões incidentes para os átomos alvo, levando à sua ejeção.
Explicação pormenorizada:
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Mecanismo de transferência de energia:
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A pulverização catódica ocorre quando os iões colidem com a superfície de um material alvo. Estes iões têm tipicamente energias que variam entre várias centenas de volts e vários kilovolts. A transferência de energia do ião para o átomo alvo deve exceder a energia de ligação do átomo da superfície para que ocorra a pulverização catódica. Esta energia de ligação é normalmente da ordem de alguns electrões-volt. Quando o limiar de energia é atingido, os átomos alvo ganham energia suficiente para ultrapassar a sua ligação à superfície e são ejectados.Distribuição de energia dos átomos pulverizados:
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A energia cinética dos átomos pulverizados não é uniforme. Apresentam uma ampla distribuição de energia, muitas vezes estendendo-se até dezenas de electrões-volt. Esta distribuição é influenciada por vários factores, incluindo a energia, o ângulo e o tipo de ião de entrada, bem como a natureza do material alvo. A distribuição de energia pode variar desde impactos balísticos de alta energia até movimentos termalizados de baixa energia, dependendo das condições e da pressão do gás de fundo.
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Influência dos parâmetros do processo:
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A eficiência da pulverização catódica e a energia dos átomos pulverizados são significativamente afectadas por vários parâmetros, tais como o ângulo de incidência dos iões, a energia dos iões, as massas dos iões e dos átomos do alvo, a energia de ligação entre os átomos do alvo e a presença de um campo magnético ou de concepções específicas do cátodo nos sistemas de pulverização catódica por magnetrões. Por exemplo, iões mais pesados ou iões com maior energia conduzem normalmente a transferências de energia mais elevadas para os átomos alvo, resultando em energias cinéticas mais elevadas dos átomos pulverizados.Sputtering preferencial:
Em alvos multicomponentes, a pulverização preferencial pode ocorrer quando um componente é pulverizado de forma mais eficiente do que outros devido a diferenças nas energias de ligação ou efeitos de massa. Isso pode levar a mudanças na composição da superfície do alvo ao longo do tempo, afetando a energia e a composição do material pulverizado.
