Os métodos de fabrico de películas finas incluem a deposição química e a deposição física.
Os métodos de deposição química envolvem a reação de um fluido precursor no substrato, resultando na formação de uma camada fina sobre o sólido. Alguns métodos populares de deposição química incluem a galvanoplastia, o sol-gel, o revestimento por imersão, o revestimento por rotação, a deposição química de vapor (CVD), a CVD enriquecida com plasma (PECVD) e a deposição de camadas atómicas (ALD). Estes métodos oferecem vantagens como a simplicidade de fabrico, a excelente uniformidade da película, a capacidade de cobrir superfícies de qualquer dimensão e em vastas áreas e a baixa temperatura de processamento. No entanto, podem exigir equipamento sofisticado e instalações de sala limpa.
Os métodos de deposição física incluem a deposição física de vapor (PVD) e várias técnicas no seu âmbito. Os métodos de PVD envolvem a deposição de átomos ou moléculas num substrato através de meios físicos. A pulverização catódica é uma técnica de PVD comummente utilizada em que os iões de árgon, criados por descarga luminescente sob vácuo, pulverizam átomos/moléculas alvo, que aderem aos substratos e formam uma película fina. Outras técnicas de PVD incluem a evaporação térmica, o revestimento de carbono, o feixe de electrões e a deposição por laser pulsado (PLD). Os métodos PVD são conhecidos pela sua boa precisão e uniformidade.
Além disso, existem métodos económicos de revestimento de película fina, tais como revestimento por imersão, revestimento por rotação, revestimento por pulverização, revestimento por lâmina e revestimento por rolo. Estes métodos têm as suas próprias vantagens e desvantagens, consoante a aplicação proposta. Podem não ser adequados para a produção em grande escala devido a certas limitações. No entanto, oferecem películas finas com boa homogeneidade e baixa rugosidade superficial.
Em geral, a escolha do método de fabrico de películas finas depende de factores como o tipo e a dimensão do substrato, os requisitos de espessura e rugosidade da superfície, considerações económicas e a disponibilidade de equipamento e instalações.
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