A frequência normalmente utilizada para a deposição por pulverização catódica RF é de 13,56 MHz. Esta frequência é escolhida por várias razões:
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Conformidade regulamentar: A União Internacional de Telecomunicações (ITU) designou 13,56 MHz como uma freqüência para instrumentos industriais, científicos e médicos (ISM) para evitar interferência com serviços de telecomunicações. Esta atribuição assegura que o equipamento de pulverização catódica RF funciona numa banda de frequência especificamente reservada para aplicações não-comunicacionais.
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Eficiência na interação entre o ião e o alvo: A frequência de 13,56 MHz é suficientemente baixa para permitir tempo suficiente para a transferência de momento dos iões de árgon para o material alvo durante a pulverização catódica. A esta frequência, os iões têm tempo suficiente para alcançar e interagir com o alvo antes do início do ciclo seguinte do campo de RF. Esta interação é crucial para uma pulverização eficaz do material alvo.
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Evitar a acumulação de carga: Na pulverização catódica por RF, o potencial elétrico alternado ajuda a evitar a acumulação de carga no alvo, especialmente quando se trata de materiais isolantes. Durante o ciclo positivo da RF, os electrões são atraídos para o alvo, dando-lhe uma polarização negativa. Durante o ciclo negativo, o bombardeamento de iões continua, assegurando que o alvo permanece eletricamente neutro e evitando quaisquer efeitos adversos, como a formação de gotículas.
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Norma amplamente aceite: Dada a sua eficácia e conformidade com os regulamentos internacionais, 13,56 MHz tornou-se a frequência padrão para a pulverização catódica RF. Esta normalização simplifica a conceção e o funcionamento dos equipamentos de pulverização catódica, bem como a compatibilidade dos diferentes sistemas e componentes.
Em resumo, a escolha de 13,56 MHz para a deposição por pulverização catódica RF resulta da sua conformidade regulamentar, da eficiência nas interacções ião-alvo, da capacidade de evitar a acumulação de cargas e do seu estatuto de norma amplamente aceite na indústria.
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