A frequência normalmente utilizada para a deposição por pulverização catódica RF é de 13,56 MHz.
Essa freqüência é escolhida por vários motivos.
4 razões principais pelas quais 13,56 MHz é a frequência padrão para a deposição por pulverização catódica RF
1. Conformidade regulamentar
A União Internacional de Telecomunicações (ITU) designou 13,56 MHz como uma freqüência para instrumentos industriais, científicos e médicos (ISM).
Esta atribuição evita interferências com serviços de telecomunicações.
Assegura que o equipamento de pulverização catódica RF funciona numa banda de frequência especificamente reservada para aplicações não-comunicacionais.
2. Eficiência na interação ião-alvo
A frequência de 13,56 MHz é suficientemente baixa para permitir tempo suficiente para a transferência de momento dos iões de árgon para o material alvo durante a pulverização catódica.
A esta frequência, os iões têm tempo suficiente para atingir e interagir com o alvo antes do início do ciclo seguinte do campo de RF.
Esta interação é crucial para uma pulverização eficaz do material alvo.
3. Evitar a acumulação de carga
Na pulverização por RF, o potencial elétrico alternado ajuda a evitar a acumulação de carga no alvo, especialmente quando se trata de materiais isolantes.
Durante o ciclo positivo da RF, os electrões são atraídos para o alvo, dando-lhe uma polarização negativa.
Durante o ciclo negativo, o bombardeamento de iões continua, assegurando que o alvo permanece eletricamente neutro e evitando efeitos adversos como a formação de gotículas.
4. Norma amplamente aceite
Dada a sua eficácia e conformidade com os regulamentos internacionais, 13,56 MHz tornou-se a frequência padrão para pulverização catódica por RF.
Esta normalização simplifica a conceção e o funcionamento do equipamento de pulverização catódica.
Também garante a compatibilidade de diferentes sistemas e componentes.
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