A pulverização catódica é uma técnica de deposição física de vapor. Envolve a ejeção e deposição de átomos de um material alvo sólido sobre um substrato, formando uma película fina. Este processo é conseguido através do bombardeamento do material alvo com iões energéticos, normalmente de um gás inerte como o árgon, dentro de uma câmara de vácuo.
Explicação das 5 etapas principais
1. Criação do plasma
O processo começa com a introdução de um gás inerte, normalmente árgon, numa câmara de vácuo. É aplicada uma descarga eléctrica para criar um plasma. Neste plasma, os átomos de árgon são ionizados em iões de carga positiva através da perda de electrões.
2. Bombardeamento de iões
Estes iões de árgon carregados positivamente são então acelerados em direção a um alvo carregado negativamente (cátodo) por um campo elétrico. O alvo é feito do material a ser depositado como uma película fina.
3. Ejeção dos átomos do alvo
Quando os iões de árgon energéticos colidem com o alvo, transferem a sua energia cinética para os átomos do alvo. Esta transferência de energia é suficiente para deslocar (pulverizar) os átomos da superfície do alvo.
4. Deposição no substrato
Os átomos do alvo ejectados, agora em fase de vapor, viajam através da câmara de vácuo e depositam-se num substrato posicionado nas proximidades. Esta deposição resulta na formação de uma película fina com propriedades determinadas pelo material do alvo e pelos parâmetros do processo.
5. Controlo e otimização
O processo de pulverização catódica pode ser controlado com precisão através do ajuste de parâmetros como a potência aplicada ao alvo, a pressão do gás na câmara e a distância entre o alvo e o substrato. Isto permite a deposição de películas com propriedades específicas, como a condutividade eléctrica, a refletividade ótica ou a reatividade química.
A pulverização catódica é uma técnica versátil utilizada em várias indústrias para a deposição de películas finas. Isto deve-se à sua capacidade de produzir revestimentos de alta qualidade, uniformes e densos, com excelente aderência ao substrato. Também pode ser utilizada para depositar materiais complexos, incluindo ligas e compostos, através de técnicas como a pulverização reactiva, em que um gás reativo é introduzido na câmara para formar compostos no substrato.
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