A pulverização catódica é um processo de deposição de película fina em que os átomos são ejectados de um material alvo e depositados num substrato devido ao bombardeamento por partículas de alta energia. Esta técnica é amplamente utilizada em indústrias como a dos semicondutores, unidades de disco, CDs e dispositivos ópticos.
Resumo da resposta:
A pulverização catódica envolve a ejeção de átomos de um material alvo para um substrato através do bombardeamento de partículas de alta energia. Este processo é crucial no fabrico de películas finas utilizadas em várias indústrias, incluindo a eletrónica e a ótica.
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Explicação pormenorizada:
- Mecanismo de Sputtering:
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Na pulverização catódica, um plasma de partículas de alta energia ou iões bombardeia a superfície de um alvo sólido. Este bombardeamento faz com que os átomos do alvo sejam ejectados devido à troca de momento entre os iões incidentes e os átomos do alvo. A energia transferida deve ser superior à energia de ligação dos átomos do alvo para provocar a ejeção, um fenómeno conhecido como pulverização catódica.
- Técnicas e aplicações:
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As técnicas de pulverização catódica incluem vários métodos, como a pulverização catódica, a pulverização catódica com díodos, a pulverização por radiofrequência ou por corrente contínua, a pulverização por feixe de iões e a pulverização reactiva. Estas técnicas são utilizadas para depositar películas finas de metais, semicondutores e revestimentos ópticos em substratos como bolachas de silício, painéis solares e dispositivos ópticos. A utilização da pulverização catódica magnetrónica por radiofrequência é particularmente comum para a deposição de materiais bidimensionais em aplicações como as células solares.
- Contexto histórico e utilização industrial:
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O conceito de pulverização catódica foi observado pela primeira vez em meados do século XIX e começou a ser utilizado industrialmente em meados do século XX, com as primeiras aplicações a incluírem o revestimento de lâminas de barbear. Atualmente, a tecnologia de pulverização catódica é avançada e amplamente utilizada na produção em massa, particularmente nas indústrias de semicondutores e de ótica de precisão.
- Considerações ambientais e de fabricação:
A pulverização catódica é considerada uma técnica amiga do ambiente devido à sua precisão e às pequenas quantidades de materiais utilizados. Permite a deposição de vários materiais, incluindo óxidos, metais e ligas em diferentes substratos, aumentando a versatilidade e a sustentabilidade do processo.Revisão e correção:
