O ânodo na pulverização catódica é o elétrodo que tem uma carga positiva.
Normalmente, está ligado ao substrato ou às paredes da câmara onde ocorre o processo de deposição.
No contexto da pulverização catódica, o ânodo serve como terra eléctrica.
Isto permite o fluxo de corrente no sistema e facilita a deposição do material alvo no substrato.
4 Principais funções do ânodo na pulverização catódica
1. Configuração eléctrica
Numa instalação de pulverização catódica, o material alvo está ligado a um cátodo com carga negativa.
O substrato ou as paredes da câmara estão ligados a um ânodo carregado positivamente.
Esta configuração é crucial para o funcionamento do processo de pulverização catódica.
2. Função no processo de pulverização catódica
O ânodo desempenha um papel fundamental na manutenção do equilíbrio elétrico no sistema de pulverização catódica.
Quando é aplicada uma tensão negativa elevada ao cátodo, os electrões livres são acelerados em direção ao ânodo.
Estes electrões colidem com os átomos de árgon no gás, ionizando-os e criando um plasma.
Os iões de árgon carregados positivamente são então atraídos para o cátodo carregado negativamente.
Colidem com o material alvo, fazendo com que os átomos sejam ejectados e depositados no substrato ligado ao ânodo.
3. Tipos de pulverização catódica
Dependendo da fonte de energia utilizada, como a corrente contínua (CC) ou a radiofrequência (RF), as especificidades do funcionamento do ânodo podem variar.
Na pulverização catódica em corrente contínua, o ânodo é diretamente o terminal positivo ligado ao substrato ou às paredes da câmara.
Na pulverização catódica RF, o ânodo continua a servir como terra eléctrica, mas a fonte de alimentação alterna a carga.
Isto ajuda a gerir a acumulação de carga em materiais alvo não condutores.
4. Aplicações
O papel do ânodo é fundamental em todas as aplicações de pulverização catódica.
Isto inclui a produção de discos rígidos de computador e circuitos integrados.
Inclui também o revestimento de vidro e de materiais ópticos.
O funcionamento eficiente do ânodo assegura a deposição correta de películas finas com as propriedades desejadas nos substratos.
Em resumo, o ânodo na pulverização catódica é um componente crítico.
Fornece a ligação eléctrica positiva necessária para o funcionamento do processo de pulverização catódica.
Isto facilita a deposição do material alvo no substrato através da criação de um ambiente de plasma.
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