Durante a deposição de vapor, os materiais são transformados do seu estado gasoso numa película sólida sobre um substrato.
Este processo é conseguido através de vários métodos, como a deposição de vapor por arco, a deposição química de vapor (CVD) e a deposição física de vapor (PVD).
Cada método envolve processos específicos que conduzem à formação de películas finas.
Estas películas finas são utilizadas para várias aplicações, incluindo revestimentos de superfícies e fabrico de dispositivos microelectrónicos.
Deposição de vapor por arco
Na deposição de vapor por arco, é utilizado um arco elétrico para vaporizar um material.
Isto acontece normalmente a partir de um elétrodo catódico ou anódico, e o material é depositado num substrato.
O substrato é frequentemente polarizado eletricamente para acelerar os iões do filme em direção à sua superfície.
O material vaporizado é altamente ionizado, o que distingue este método do simples vácuo ou da evaporação térmica.
A ionização aumenta a formação de revestimentos mais espessos, tornando este método adequado para revestimentos de superfícies duras e decorativas.
O processo envolve a geração de um fluxo através do movimento de um arco sobre a superfície do alvo.
Isto ejecta átomos que se condensam no substrato para formar uma película fina.
Deposição em fase vapor por processo químico (CVD)
A CVD envolve a utilização de precursores gasosos ou vaporizados que reagem na interface gás-sólido para formar depósitos sólidos.
O processo inclui várias etapas: transporte de espécies gasosas em reação para a superfície do substrato, adsorção destas espécies, reacções heterogéneas catalisadas pela superfície, difusão superficial para locais de crescimento, nucleação e crescimento da película e dessorção dos produtos da reação gasosa.
A CVD é versátil, capaz de depositar uma vasta gama de materiais, incluindo metais, cerâmicas e compósitos.
Funciona sob calor e baixa pressão atmosférica, garantindo um revestimento uniforme mesmo em superfícies de formas complexas.
Deposição de vapor físico (PVD)
A PVD envolve a vaporização de um material de origem sólido ou líquido no vácuo.
Segue-se a condensação do vapor numa superfície para formar uma película fina.
O processo ocorre numa câmara de vácuo para minimizar as colisões com as moléculas de gás, garantindo a deposição de películas puras e densas.
Os métodos de PVD incluem a pulverização catódica, a evaporação térmica, a evaporação por feixe eletrónico e a ablação por laser.
Cada método contribui para a formação de revestimentos com apenas alguns átomos de espessura, com elevada pureza e boa aderência ao substrato.
Resumo
Em resumo, as técnicas de deposição de vapor são cruciais para a formação de películas finas em várias aplicações industriais.
Cada método tem os seus mecanismos e vantagens únicos, adaptados a necessidades específicas, como a espessura do revestimento, o tipo de material e a complexidade do substrato.
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