A taxa de deposição é um aspeto crucial dos processos de deposição de películas finas. Ela mede a rapidez com que o material é depositado num substrato.
Quais são as unidades da taxa de deposição? 5 pontos-chave para compreender
1. Unidades Comuns de Taxa de Deposição
As unidades da taxa de deposição são normalmente expressas em termos de comprimento por unidade de tempo.
2. Nanómetros por segundo (nm/s)
Uma unidade comum é o nanómetro por segundo (nm/s).
3. Micrómetros por minuto (μm/min)
Outra unidade comum é o micrómetro por minuto (μm/min).
4. Cálculo da taxa de deposição
A taxa de deposição, denotada como ( R_{dep} ), pode ser calculada utilizando a fórmula: [ R_{dep} = A \times R_{sputter} ].
5. Importância na deposição de películas finas
A taxa de deposição é crucial para controlar a espessura e a uniformidade das películas finas.
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