A Deposição Química em Vapor (CVD) é um processo complexo utilizado para criar películas finas em vários substratos.
5 etapas principais da reação de CVD
1) Introdução de produtos químicos precursores
Os produtos químicos precursores são introduzidos no reator de CVD.
Estes produtos químicos são os materiais iniciais que irão reagir para formar a película fina desejada.
2) Transporte das moléculas precursoras
Uma vez dentro do reator, as moléculas precursoras têm de ser transportadas para a superfície do substrato.
Isto é normalmente conseguido através de uma combinação de transporte fluido e difusão.
3) Adsorção na superfície do substrato
As moléculas precursoras que atingem a superfície do substrato devem então sofrer adsorção.
A adsorção refere-se à fixação destas moléculas na superfície do substrato.
Esta etapa é crucial para a ocorrência das reacções subsequentes.
4) Reacções químicas
Uma vez adsorvidas, as moléculas precursoras reagem com a superfície do substrato para formar a película fina desejada.
Estas reacções podem ser reacções homogéneas em fase gasosa ou reacções heterogéneas que ocorrem na superfície aquecida do substrato.
5) Dessorção de subprodutos
Durante as reacções químicas, formam-se moléculas de subprodutos.
Estes subprodutos têm de ser dessorvidos da superfície do substrato para dar lugar a mais moléculas precursoras.
A dessorção refere-se à libertação destas moléculas para a fase gasosa.
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