A pressão de vácuo é medida utilizando manómetros especializados que são concebidos para funcionar nas várias gamas de vácuo, desde o baixo ao ultra-alto. A medição da pressão de vácuo é crucial para garantir o funcionamento correto dos sistemas de vácuo e para manter as condições desejadas nas câmaras de vácuo.
Técnicas de medição:
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Manómetros: São utilizados diferentes tipos de manómetros, dependendo da gama de vácuo que está a ser medida. Por exemplo, na gama de vácuo bruto/baixo (1000 a 1 mbar), podem ser utilizados manómetros mecânicos como os tubos Bourdon ou manómetros de diafragma. Estes medidores funcionam com base no princípio da deformação mecânica em resposta a alterações de pressão.
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Medidores de condutividade térmica: Adequados para gamas de vácuo fino/médio (1 a 10^-3 mbar), estes medidores medem a alteração da condutividade térmica de um gás devido a alterações de pressão. O medidor Pirani é um tipo comum, em que a resistência de um fio aquecido muda à medida que a pressão do gás varia, afectando a perda de calor do fio.
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Medidores de ionização: Estes são utilizados em gamas de vácuo alto e ultra-alto (10^-3 a 10^-11 mbar). Funcionam através da ionização de moléculas de gás e da medição da corrente produzida, que é proporcional à densidade do gás e, por conseguinte, à pressão. Os medidores Bayard-Alpert e os medidores de ionização de cátodo quente são exemplos.
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Medidores de suspensão magnética: Para vácuo extremamente elevado (< 10^-11 mbar), os medidores de suspensão magnética medem a força necessária para suspender uma pequena esfera num campo magnético, que é influenciado pela pressão do gás circundante.
Precisão e fiabilidade:
A escolha do medidor depende do nível de vácuo necessário e da aplicação específica. Por exemplo, num sistema de deposição em vácuo, tal como mencionado na referência, é utilizado um manómetro de gama completa capaz de indicar a pressão desde os níveis atmosféricos até 10^-9 Torr. Isto assegura uma monitorização exacta do ambiente de deposição, o que é fundamental para a qualidade da deposição de películas finas.
Integração com sistemas de vácuo:
Os medidores de vácuo são normalmente integrados no sistema de vácuo juntamente com válvulas e outros componentes. Os medidores fornecem feedback em tempo real sobre a pressão no interior da câmara, permitindo que os operadores ajustem as definições da bomba de vácuo ou outros parâmetros conforme necessário para atingir e manter o nível de vácuo desejado.
Conclusão:
A medição da pressão de vácuo é um aspeto crítico da gestão de sistemas de vácuo em várias indústrias e aplicações de investigação. A seleção de medidores adequados garante que os níveis de vácuo são mantidos com precisão, o que é essencial para o sucesso de processos como fornos de vácuo, aceleradores de partículas e sistemas de deposição de película fina.
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