A técnica de medição normalmente utilizada para determinar a espessura de películas finas é a elipsometria espectroscópica. A elipsometria espectroscópica é um método não destrutivo e sem contacto que permite medir a espessura de películas transparentes e semi-transparentes de uma ou várias camadas. É amplamente utilizado em indústrias como a eletrónica e a dos semicondutores. Este método permite a medição simultânea da espessura da película e das propriedades ópticas, como o índice de refração e o coeficiente de extinção. A gama de espessuras em que a elipsometria espectroscópica é adequada situa-se entre 1nm e 1000nm. No entanto, pode não medir com exatidão a espessura de películas finas baseadas em substratos transparentes utilizados em ótica. Outras técnicas, como a perfilometria e a interferometria, podem também ser utilizadas para medições mecânicas da espessura da película, mas requerem a presença de uma ranhura ou degrau na superfície da película. É importante considerar factores como a transparência do material, a informação adicional necessária e o orçamento ao selecionar uma técnica de medição da espessura de películas finas.
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