Quando se trata de medir a espessura de películas finas, uma técnica se destaca: a elipsometria espectroscópica.
Qual das seguintes técnicas de medição é normalmente utilizada para determinar a espessura de películas finas? (4 métodos principais explorados)
1. Elipsometria espectroscópica
A elipsometria espectroscópica é um método não destrutivo e sem contacto.
Pode medir a espessura de películas transparentes e semi-transparentes de uma ou várias camadas.
Este método é amplamente utilizado em indústrias como a eletrónica e a dos semicondutores.
Permite a medição simultânea da espessura da película e das propriedades ópticas, como o índice de refração e o coeficiente de extinção.
A gama de espessuras adequada para a elipsometria espectroscópica situa-se entre 1nm e 1000nm.
No entanto, pode não medir com exatidão a espessura de películas finas em substratos transparentes utilizados em ótica.
2. Perfilometria
A perfilometria com estilete é outra técnica que pode ser utilizada para medições mecânicas da espessura de películas.
Requer a presença de uma ranhura ou degrau na superfície da película.
3. Interferometria
A interferometria é também um método que pode ser utilizado para medir a espessura de uma película.
Tal como a perfilometria com ponta, requer caraterísticas específicas da superfície para funcionar eficazmente.
4. Outras técnicas
Para aplicações que envolvam substratos transparentes utilizados em ótica, podem ser explorados outros métodos como XRR, SEM de secção transversal e TEM de secção transversal.
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