O rendimento de pulverização catódica de um alvo é o número médio de átomos ejectados do alvo por cada ião incidente. Este rendimento depende de vários factores, incluindo a energia cinética e a massa dos iões, a massa dos átomos do alvo, a energia de ligação dos átomos da superfície, o ângulo de incidência dos iões e a energia com que os iões atingem o alvo.
Factores que afectam o rendimento da pulverização catódica:
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Energia cinética e massa dos iões: O rendimento da pulverização catódica aumenta com a energia e a massa dos iões incidentes. Existe um limiar mínimo de energia (normalmente 30-50 eV) necessário para ejetar um átomo do alvo. Acima deste limiar, o rendimento aumenta inicialmente de forma rápida, mas depois estabiliza à medida que a energia do ião aumenta, porque os iões de maior energia depositam a sua energia mais profundamente no alvo, reduzindo a eficácia na superfície.
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Massa dos átomos do alvo: A relação entre as massas do ião e do átomo alvo influencia a transferência de momento. Para átomos alvo leves, o rendimento máximo é alcançado quando a massa do alvo e do ião são aproximadamente iguais. No entanto, à medida que a massa dos átomos alvo aumenta, a razão de massa óptima desloca-se para iões de massa mais elevada.
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Energia de ligação dos átomos da superfície: A energia de ligação entre os átomos do material alvo também desempenha um papel crucial. As energias de ligação mais elevadas requerem mais energia para deslocar os átomos, afectando assim o rendimento da pulverização catódica.
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Ângulo de incidência: O ângulo em que os iões atingem a superfície do material alvo pode afetar significativamente o rendimento da pulverização catódica. Normalmente, os ângulos mais acentuados podem aumentar o rendimento devido a uma transferência de energia mais direta para os átomos da superfície.
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Outros factores: Outros factores como a presença de um campo magnético (na pulverização catódica magnetrónica), a pressão do gás de plasma e a técnica específica de pulverização catódica (por exemplo, feixe de iões, pulverização catódica reactiva) também podem influenciar o rendimento da pulverização catódica.
Rendimento de pulverização na prática:
Em aplicações práticas, como a deposição por pulverização catódica, o rendimento da pulverização catódica é crucial, uma vez que afecta diretamente a taxa de deposição. O rendimento pode variar muito, dependendo do material alvo e das condições do processo de pulverização. Por exemplo, a uma energia iónica de 600 eV, diferentes materiais apresentarão diferentes rendimentos de pulverização, que são influenciados pelos factores acima mencionados.Conclusão:
O rendimento da pulverização catódica é um parâmetro complexo determinado pela interação dos iões incidentes com o material alvo. Compreender e controlar estas interacções é essencial para otimizar os processos de pulverização em várias aplicações industriais e de investigação.
